用于确定衬底上目标结构的位置的设备和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880087820.5

申请日：

2018-12-20

公开(公告)号：

CN111656183B

公开(公告)日：

2024-01-19

发明(设计)人：

N·潘迪 D·阿克布卢特亚历山德罗·波洛塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G01N29/06

IPC分类号：

G01N29/22 G01N29/24 G03F1/84 G03F7/20 G03F9/00

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

胡良均

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-19	授权	授权

共 50 条

[1]

用于确定衬底上目标结构的位置的设备和方法 [P].

N·潘迪 ;

D·阿克布卢特 ;

亚历山德罗·波洛 ;

塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩 .

中国专利 :CN111656183A ,2020-09-11

[2]

用于确定衬底上目标结构的位置的方法和设备、用于确定衬底的位置的方法和设备 [P].

F·G·C·比杰南 ;

A·H·M·博舒沃斯 ;

J·奥努勒 .

中国专利 :CN109313405A ,2019-02-05

[3]

用于确定位置和方位的方法和设备 [P].

佐藤清秀 ;

内山晋二 .

中国专利 :CN100408969C ,2006-11-22

[4]

确定目标位置的方法 [P].

约翰内斯·本克特 ;

阿洛伊斯·雷克滕瓦尔德 ;

朱利安·福格尔 .

德国专利 :CN118043848A ,2024-05-14

[5]

用于确定目标的位置的方法和装置、设备、车辆和介质 [P].

严官林 ;

凌立 ;

吴晔 ;

何宏良 ;

常好华 ;

唐亚哲 .

德国专利 :CN120232418A ,2025-07-01

[6]

用于确定位置的方法和设备 [P].

云特·汉斯 ;

海因茨·利普纳 .

中国专利 :CN101196409B ,2008-06-11

[7]

用于在存储介质上确定缺陷位置的方法和装置 [P].

M·奥伯格 .

中国专利 :CN102282616A ,2011-12-14

[8]

确定移动平台的位置的设备和方法 [P].

罗伯特·T.·卡托 .

中国专利 :CN101135564B ,2008-03-05

[9]

用于确定目标的空间位置的系统 [P].

S·E·莱斯 .

中国专利 :CN1241260A ,2000-01-12

[10]

用于确定车辆的位置的方法、设备和系统 [P].

M.比尔德施泰因 ;

B.埃克特 .

中国专利 :CN105579276A ,2016-05-11

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