旋转式蒸发源和真空镀膜机

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申请号
CN202222214708.X
申请日
2022-08-22
公开(公告)号
CN217839102U
公开(公告)日
2022-11-18
发明(设计)人
姚博 王良乐 邵君 于振瑞
申请人
申请人地址
214000 江苏省无锡市锡山经济开发区东部园大成路1066号
IPC主分类号
C23C1424
IPC分类号
代理机构
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人
于腾昊
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
旋转式真空镀膜机 [P]. 
陈福田 .
中国专利 :CN213203177U ,2021-05-14
[2]
旋转式真空镀膜机 [P]. 
吴庆华 .
中国专利 :CN108970834B ,2018-12-11
[3]
一种真空镀膜机蒸发源 [P]. 
刘阳 ;
刘庆云 .
中国专利 :CN222274664U ,2024-12-31
[4]
一种镀膜蒸发源及应用该蒸发源的真空镀膜机 [P]. 
张星 ;
孙昂 .
中国专利 :CN204080096U ,2015-01-07
[5]
一种旋转式真空镀膜机 [P]. 
吴正日 ;
高雷 .
中国专利 :CN211036070U ,2020-07-17
[6]
一种旋转式真空镀膜机 [P]. 
周小燕 ;
何林李 .
中国专利 :CN207507707U ,2018-06-19
[7]
一种旋转式真空镀膜机 [P]. 
许颖杰 .
中国专利 :CN208810329U ,2019-05-03
[8]
一种旋转式真空镀膜机 [P]. 
刘鑫 ;
姚林 .
中国专利 :CN223691434U ,2025-12-19
[9]
蒸发源和真空镀膜系统 [P]. 
孔德兴 .
中国专利 :CN206872929U ,2018-01-12
[10]
一种旋转式的真空镀膜机 [P]. 
崔木岚 .
中国专利 :CN209034679U ,2019-06-28