蒸发源和真空镀膜系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720572428.2

申请日：

2017-05-22

公开(公告)号：

CN206872929U

公开(公告)日：

2018-01-12

发明(设计)人：

孔德兴

申请人：

申请人地址：

215634 江苏省苏州市张家港市晨港路85号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

韩建伟;谢湘宁

法律状态：

专利权的保全及其解除

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-11	专利权的保全及其解除	专利权保全的解除 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20170522 授权公告日:20180112 解除日:20220121
2018-01-12	授权	授权
2019-03-01	专利权的保全及其解除	专利权的保全 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20170522 授权公告日:20180112 登记生效日:20190121

共 50 条

[1]

旋转式蒸发源和真空镀膜机 [P].

姚博 ;

王良乐 ;

邵君 ;

于振瑞 .

中国专利 :CN217839102U ,2022-11-18

[2]

真空镀膜用线性金属蒸发源 [P].

李剑飞 ;

王超 ;

郝文涛 ;

苗伟伟 ;

黄小卫 .

中国专利 :CN117535630A ,2024-02-09

[3]

离子源和真空镀膜系统 [P].

孔德兴 .

中国专利 :CN206872935U ,2018-01-12

[4]

一种镀膜蒸发源及应用该蒸发源的真空镀膜机 [P].

张星 ;

孙昂 .

中国专利 :CN204080096U ,2015-01-07

[5]

一种真空镀膜机蒸发源 [P].

刘阳 ;

刘庆云 .

中国专利 :CN222274664U ,2024-12-31

[6]

一种蒸发源结构及真空镀膜装置 [P].

王伟 ;

张扬 ;

常杰 .

中国专利 :CN207031533U ,2018-02-23

[7]

真空镀膜系统 [P].

王志海 ;

邝斌 ;

陈金良 ;

齐鹏飞 ;

赖新暖 .

中国专利 :CN213977866U ,2021-08-17

[8]

真空镀膜系统 [P].

洪本善 ;

刘扬 ;

许元理 ;

唐成军 .

中国专利 :CN220619088U ,2024-03-19

[9]

蒸发舟和真空镀膜设备 [P].

王洪波 ;

李永强 ;

侯建洋 ;

孙欣森 ;

李永伟 .

中国专利 :CN220665423U ,2024-03-26

[10]

真空镀膜系统 [P].

彭冲 ;

李明洁 ;

吴俊杰 ;

请求不公布姓名 ;

王雪戈 ;

邵君 ;

于振瑞 .

中国专利 :CN223548085U ,2025-11-14

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