MEMS扫描2μm激光外差干涉仪光学系统的装调方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310172623.2

申请日：

2013-05-10

公开(公告)号：

CN103278087B

公开(公告)日：

2013-09-04

发明(设计)人：

高龙郑永超陶宇亮王遨游

申请人：

申请人地址：

100076 北京市丰台区南大红门路1号9201信箱5分箱

IPC主分类号：

G01B902

IPC分类号：

G02B702 G02B7182 G02B700

代理机构：

中国航天科技专利中心 11009

代理人：

安丽

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-09-04	公开	公开
2013-10-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101527528027 IPC(主分类):G01B 9/02 专利申请号:2013101726232 申请日:20130510
2016-01-13	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS扫描式激光外差干涉仪及其测量玻璃应力的方法 [P].

王春晖 ;

庞亚军 ;

曲杨 ;

李小宝 .

中国专利 :CN102829903A ,2012-12-19

[2]

一种应用于激光外差干涉仪的基于声光调制的2μm偏振正交激光发射系统 [P].

王春晖 ;

高龙 ;

李彦超 ;

丛海芳 ;

曲杨 .

中国专利 :CN101916957B ,2010-12-15

[3]

干涉仪光学系统 [P].

王飞 ;

史振广 ;

田伟 ;

隋永新 .

中国专利 :CN106767390A ,2017-05-31

[4]

激光外差共路干涉方法及其光学系统 [P].

韩昌元 ;

顾去吾 ;

卢振武 ;

刘斌 .

中国专利 :CN1079055A ,1993-12-01

[5]

用于原子干涉仪的集成光学系统 [P].

张小伟 ;

仲嘉琪 ;

汤彪 ;

陈曦 ;

朱磊 ;

王谨 ;

詹明生 .

中国专利 :CN108592783A ,2018-09-28

[6]

用于原子干涉仪的集成光学系统 [P].

张小伟 ;

仲嘉琪 ;

汤彪 ;

陈曦 ;

朱磊 ;

王谨 ;

詹明生 .

中国专利 :CN108592783B ,2024-03-19

[7]

使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统 [P].

何锋赟 ;

胡玥 ;

张春林 ;

贾庆莲 ;

赵新令 ;

刘扬 .

中国专利 :CN109374262A ,2019-02-22

[8]

使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统 [P].

何锋赟 ;

胡玥 ;

张春林 ;

贾庆莲 ;

赵新令 ;

刘扬 .

中国专利 :CN109580173B ,2019-04-05

[9]

空间外差干涉仪中光栅胶合的装调机构 [P].

罗海燕 ;

熊伟 ;

施海亮 ;

李大成 ;

吴军 ;

方勇华 .

中国专利 :CN201532483U ,2010-07-21

[10]

一种用于拉曼光谱探测的扩视场空间外差干涉仪光学系统 [P].

赵珩翔 ;

冯玉涛 ;

李娟 ;

孙剑 ;

傅頔 ;

畅晨光 ;

吴阳 ;

周冠 ;

孙晨 ;

范博昭 .

中国专利 :CN216117335U ,2022-03-22

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