MEMS扫描式激光外差干涉仪及其测量玻璃应力的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210315020.9

申请日：

2012-08-30

公开(公告)号：

CN102829903A

公开(公告)日：

2012-12-19

发明(设计)人：

王春晖庞亚军曲杨李小宝

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

G01L124

IPC分类号：

G01N2123

代理机构：

哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109

代理人：

张果瑞

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-07	授权	授权
2013-02-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101391741161 IPC(主分类):G01L 1/24 专利申请号:2012103150209 申请日:20120830
2015-10-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101631630241 IPC(主分类):G02B 26/10 专利号:ZL2012103150209 申请日:20120830 授权公告日:20140507 终止日期:20140830
2012-12-19	公开	公开

共 50 条

[1]

MEMS扫描2μm激光外差干涉仪光学系统的装调方法 [P].

高龙 ;

郑永超 ;

陶宇亮 ;

王遨游 .

中国专利 :CN103278087B ,2013-09-04

[2]

一种应用于激光外差干涉仪的基于声光调制的2μm偏振正交激光发射系统 [P].

王春晖 ;

高龙 ;

李彦超 ;

丛海芳 ;

曲杨 .

中国专利 :CN101916957B ,2010-12-15

[3]

双轴MEMS扫描的外差干涉系统及方法 [P].

季一勤 ;

王春辉 ;

高龙 ;

李彦超 .

中国专利 :CN102022977A ,2011-04-20

[4]

一种应用于激光外差干涉仪的基于双轴MEMS反射振镜和F-Theta透镜的线性扫描系统 [P].

王春晖 ;

高龙 ;

李彦超 ;

丛海芳 ;

曲杨 .

中国专利 :CN101915542A ,2010-12-15

[5]

基于外差激光干涉仪同时测量距离和位移的装置及其方法 [P].

梁浴榕 ;

李润兵 ;

王谨 ;

詹明生 .

中国专利 :CN110412606A ,2019-11-05

[6]

基于外差激光干涉仪同时测量距离和位移的装置及其方法 [P].

梁浴榕 ;

李润兵 ;

王谨 ;

詹明生 .

中国专利 :CN110412606B ,2024-07-09

[7]

基于Talbot干涉仪的扫描式光栅写入法及扫描式Talbot干涉仪 [P].

李川 .

中国专利 :CN1725042A ,2006-01-25

[8]

激光自混合光栅干涉仪及其测量方法 [P].

郭冬梅 ;

王鸣 ;

郝辉 ;

夏巍 ;

倪小琦 .

中国专利 :CN104713473B ,2015-06-17

[9]

用于测量晶片台平移的外差激光干涉仪 [P].

W·克莱·施卢赫特尔 .

中国专利 :CN1699914A ,2005-11-23

[10]

外差干涉仪的激光方位调整装置 [P].

赵慧洁 ;

张广军 .

中国专利 :CN2589933Y ,2003-12-03

← 1 2 3 4 5 →