干式悬浮微粒去除装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010571731.3

申请日：

2010-12-03

公开(公告)号：

CN102485313A

公开(公告)日：

2012-06-06

发明(设计)人：

林易成赖昱诚

申请人：

申请人地址：

中国台湾

IPC主分类号：

B01D4600

IPC分类号：

代理机构：

天津三元专利商标代理有限责任公司 12203

代理人：

郑永康

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-03-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101426525488 IPC(主分类):B01D 46/00 专利申请号:2010105717313 申请日:20101203
2012-06-06	公开	公开
2015-05-13	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101714947936 IPC(主分类):B01D 46/00 专利申请号:2010105717313 申请公布日:20120606

共 50 条

[1]

干式悬浮微粒去除装置 [P].

林易成 ;

赖昱诚 .

中国专利 :CN202006062U ,2011-10-12

[2]

悬浮微粒去除装置 [P].

林易成 .

中国专利 :CN102949907A ,2013-03-06

[3]

湿式悬浮微粒去除装置及方法 [P].

林易成 ;

赖昱诚 .

中国专利 :CN102485316A ,2012-06-06

[4]

湿式悬浮微粒去除装置 [P].

林易成 ;

赖昱诚 .

中国专利 :CN202087180U ,2011-12-28

[5]

微粒去除装置及微粒去除方法 [P].

田中洋一 ;

藤村侑 ;

饭野秀章 ;

川胜孝博 .

中国专利 :CN113631242A ,2021-11-09

[6]

水中微粒去除装置及方法 [P].

游惠宋 ;

周珊珊 ;

江万豪 ;

朱振华 ;

黄志彬 ;

廖启钟 ;

洪仁阳 ;

邹文源 ;

张王冠 ;

杨惠玲 .

中国专利 :CN1962018A ,2007-05-16

[7]

废气中有害物质的干式去除装置及干式去除方法 [P].

胡登容 .

中国专利 :CN110102159A ,2019-08-09

[8]

旋转式悬浮微粒的补捉装置 [P].

赖全裕 .

中国专利 :CN207042107U ,2018-02-27

[9]

切割微粒的去除装置及切割方法 [P].

罗昆 ;

王玉柱 ;

邓颖 ;

朱春辉 .

中国专利 :CN109773334B ,2019-05-21

[10]

干式蚀刻器中残留气体的去除装置及去除方法 [P].

金兑昱 ;

卢寿光 ;

朴晋 .

中国专利 :CN1170777A ,1998-01-21

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