干式蚀刻器中残留气体的去除装置及去除方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN97111511.7

申请日：

1997-05-09

公开(公告)号：

CN1170777A

公开(公告)日：

1998-01-21

发明(设计)人：

金兑昱卢寿光朴晋

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23F108

IPC分类号：

代理机构：

柳沈知识产权律师事务所

代理人：

马莹

法律状态：

实质审查请求的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
1999-08-18	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2010-07-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101004178246 IPC(主分类):C23F 1/08 专利号:ZL971115117 申请日:19970509 授权公告日:20040505
2004-05-05	授权	授权
1998-01-21	公开	公开

共 50 条

[1]

干式拉拔钢丝表面残留去除装置及方法 [P].

王士民 ;

李居金 ;

刘明和 .

中国专利 :CN120115551A ,2025-06-10

[2]

残留气体去除设备和方法 [P].

阚保国 ;

阚杰 ;

曹春生 ;

冯大贵 ;

吴长明 .

中国专利 :CN111524832A ,2020-08-11

[3]

气体中杂质的去除装置及维护方法 [P].

陈生龙 ;

林德宝 ;

郭键平 ;

俞大海 .

中国专利 :CN102410944A ,2012-04-11

[4]

气体中杂质的去除装置 [P].

陈生龙 ;

林德宝 ;

郭键平 ;

俞大海 .

中国专利 :CN202305278U ,2012-07-04

[5]

废气中有害物质的干式去除装置及干式去除方法 [P].

胡登容 .

中国专利 :CN110102159A ,2019-08-09

[6]

干式悬浮微粒去除装置及方法 [P].

林易成 ;

赖昱诚 .

中国专利 :CN102485313A ,2012-06-06

[7]

废气中有害物质的干式去除装置以及干式去除方法 [P].

赵镛末 ;

金敏晧 ;

李承柱 ;

金泰錫 ;

金载勳 ;

吴圣均 .

中国专利 :CN105311933A ,2016-02-10

[8]

去除光刻胶和蚀刻残留物的方法 [P].

维迪雅纳坦·巴拉苏布拉马尼亚姆 ;

萩原正明 ;

西村荣一 ;

稻泽高一郎 ;

畑村安则 .

中国专利 :CN100388429C ,2005-08-10

[9]

RH工艺去除钢液中夹杂物的去除装置及去除方法 [P].

刘金刚 ;

马长文 ;

季晨曦 ;

郝宁 ;

初仁生 ;

高攀 ;

李战军 ;

魏运飞 ;

罗衍昭 ;

关春阳 ;

张聪聪 ;

张学峰 ;

路士平 ;

王凯凯 ;

石磊 .

中国专利 :CN118207389A ,2024-06-18

[10]

清洁器头、去除装置及去除方法 [P].

内田健哉 ;

菊地佑磨 .

中国专利 :CN110899179B ,2020-03-24

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