残留气体去除设备和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010342136.6

申请日：

2020-04-27

公开(公告)号：

CN111524832A

公开(公告)日：

2020-08-11

发明(设计)人：

阚保国阚杰曹春生冯大贵吴长明

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

黎伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200427
2020-08-11	公开	公开

共 50 条

[1]

一种气体去除设备和方法 [P].

梁翊 ;

朱智超 ;

彭雄厚 ;

黄光顺 ;

曹君 .

中国专利 :CN107469604A ,2017-12-15

[2]

气体去除设备、气体去除船、及从储气罐中去除气体的气体去除方法 [P].

藤野义和 ;

云石隆司 .

中国专利 :CN104736432A ,2015-06-24

[3]

干式蚀刻器中残留气体的去除装置及去除方法 [P].

金兑昱 ;

卢寿光 ;

朴晋 .

中国专利 :CN1170777A ,1998-01-21

[4]

气体去除设备及相关方法 [P].

N·赫里克 ;

D·萨勒夫 ;

R·格林 .

中国专利 :CN110354343A ,2019-10-22

[5]

车间气体去除设备 [P].

张国基 .

中国专利 :CN205007836U ,2016-02-03

[6]

残留气体清除方法 [P].

肯尼思·G·布拉什 .

中国专利 :CN1910091A ,2007-02-07

[7]

加工残留物去除设备 [P].

孙超 ;

苏晓帆 ;

王叶 ;

贺扬 ;

刘飞 .

中国专利 :CN207981781U ,2018-10-19

[8]

一种针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备和去除方法 [P].

徐杨 ;

王盛凯 .

中国专利 :CN114453346A ,2022-05-10

[9]

仓库异味气体去除设备 [P].

吴雪兴 ;

潘磊 ;

顾顶峰 .

中国专利 :CN214416019U ,2021-10-19

[10]

湿气去除设备和方法 [P].

A·辛格 .

中国专利 :CN101205834A ,2008-06-25

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