一种微机械静电驱动的直线型梳齿结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811196917.8

申请日：

2018-10-15

公开(公告)号：

CN109399549A

公开(公告)日：

2019-03-01

发明(设计)人：

庄海涵杨静刘福民刘国文

申请人：

申请人地址：

100854 北京市海淀区北京142信箱403分箱

IPC主分类号：

B81B300

IPC分类号：

B81B702

代理机构：

中国航天科技专利中心 11009

代理人：

李晶尧

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-01	公开	公开
2021-06-11	授权	授权
2019-03-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 3/00 申请日:20181015

共 50 条

[1]

一种微机械静电驱动的弧形梳齿结构 [P].

庄海涵 ;

杨静 ;

刘福民 ;

刘国文 .

中国专利 :CN109353985A ,2019-02-19

[2]

一种微机械静电驱动的梳齿结构 [P].

高永丰 ;

尤政 ;

赵嘉昊 .

中国专利 :CN104326434A ,2015-02-04

[3]

一种双段式静电驱动微机械开关 [P].

尤政 ;

高永丰 ;

赵嘉昊 ;

阮勇 .

中国专利 :CN104241035B ,2014-12-24

[4]

静电驱动的微机械开关及其制备方法 [P].

王喆垚 .

中国专利 :CN118315212A ,2024-07-09

[5]

一种静电驱动频率可变微机械谐振器 [P].

田文超 ;

扈江磊 ;

杨丽琴 .

中国专利 :CN103401527A ,2013-11-20

[6]

一种采用静电平衡梳齿驱动器的水平轴微机械音叉陀螺 [P].

郭中洋 ;

杨振川 ;

赵前程 ;

林龙涛 ;

刘雪松 ;

丁海涛 ;

崔健 ;

闫桂珍 .

中国专利 :CN101876547B ,2010-11-03

[7]

一种微机械梳齿电容器 [P].

郭中洋 ;

杨振川 ;

闫桂珍 .

中国专利 :CN102064021A ,2011-05-18

[8]

一种微机械陀螺驱动方法 [P].

朱辉杰 ;

金仲和 ;

胡世昌 ;

刘义东 .

中国专利 :CN102706339B ,2012-10-03

[9]

静电驱动式微机械可变电感器 [P].

黄庆安 ;

郑惟彬 ;

廖小平 ;

孙莹 .

中国专利 :CN1206669C ,2003-12-10

[10]

一种具有交错梳齿的静电驱动结构的制备方法 [P].

秦明 .

中国专利 :CN103145091A ,2013-06-12

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