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曲面基板的镀膜装置及其镀膜方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010834726.0
申请日：
2020-08-18
公开(公告)号：
CN114075650A
公开(公告)日：
2022-02-22
发明(设计)人：
郭青峰
丁景隆
汤莹瑶
申请人：
申请人地址：
中国台湾新竹科学工业园区苗栗县竹南镇科学路160号
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
周天宇
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20200818 |
| 2022-02-22 | 公开 | 公开 |