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检查装置及检查方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201810743640.X
申请日
:
2018-07-09
公开(公告)号
:
CN109540899A
公开(公告)日
:
2019-03-29
发明(设计)人
:
村冈力夫
申请人
:
申请人地址
:
日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1
IPC主分类号
:
G01N2188
IPC分类号
:
代理机构
:
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人
:
杨文娟;臧建明
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2019-03-29
公开
公开
2019-04-23
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/88 申请日:20180709
2021-08-03
授权
授权
共 50 条
[1]
图案检查装置及图案检查方法
[P].
大泷寿明
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
纽富来科技股份有限公司
纽富来科技股份有限公司
大泷寿明
;
平野亮一
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
纽富来科技股份有限公司
纽富来科技股份有限公司
平野亮一
.
日本专利
:CN121090566A
,2025-12-09
[2]
表面检查装置及表面检查方法
[P].
早野史伦
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
早野史伦
.
中国专利
:CN102334026A
,2012-01-25
[3]
缺陷检查装置及缺陷检查方法
[P].
远藤一正
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
远藤一正
.
中国专利
:CN102197300A
,2011-09-21
[4]
外观检查装置及外观检查方法
[P].
冈平裕幸
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
冈平裕幸
.
中国专利
:CN1828280B
,2006-09-06
[5]
检查装置及检查方法
[P].
中村共则
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
中村共则
.
中国专利
:CN108369211B
,2018-08-03
[6]
检查装置和检查方法
[P].
吉川透
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
吉川透
.
中国专利
:CN101680848B
,2010-03-24
[7]
检查装置、摄像装置以及检查方法
[P].
藤原刚
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
藤原刚
.
中国专利
:CN100520380C
,2006-10-04
[8]
检查装置及检查方法
[P].
铃木信介
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
铃木信介
;
寺田浩敏
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
寺田浩敏
;
松田俊辅
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
松田俊辅
.
中国专利
:CN111564384A
,2020-08-21
[9]
检查装置及检查方法
[P].
铃木胜
论文数:
0
引用数:
0
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0
铃木胜
;
水野央之
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
水野央之
.
中国专利
:CN104423147A
,2015-03-18
[10]
检查装置及检查方法
[P].
铃木信介
论文数:
0
引用数:
0
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0
铃木信介
;
寺田浩敏
论文数:
0
引用数:
0
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0
寺田浩敏
;
松田俊辅
论文数:
0
引用数:
0
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0
松田俊辅
.
中国专利
:CN107210244A
,2017-09-26
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