检查装置及检查方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201810743640.X
申请日
2018-07-09
公开(公告)号
CN109540899A
公开(公告)日
2019-03-29
发明(设计)人
村冈力夫
申请人
申请人地址
日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1
IPC主分类号
G01N2188
IPC分类号
代理机构
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人
杨文娟;臧建明
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
图案检查装置及图案检查方法 [P]. 
大泷寿明 ;
平野亮一 .
日本专利 :CN121090566A ,2025-12-09
[2]
表面检查装置及表面检查方法 [P]. 
早野史伦 .
中国专利 :CN102334026A ,2012-01-25
[3]
缺陷检查装置及缺陷检查方法 [P]. 
远藤一正 .
中国专利 :CN102197300A ,2011-09-21
[4]
外观检查装置及外观检查方法 [P]. 
冈平裕幸 .
中国专利 :CN1828280B ,2006-09-06
[5]
检查装置及检查方法 [P]. 
中村共则 .
中国专利 :CN108369211B ,2018-08-03
[6]
检查装置和检查方法 [P]. 
吉川透 .
中国专利 :CN101680848B ,2010-03-24
[7]
检查装置、摄像装置以及检查方法 [P]. 
藤原刚 .
中国专利 :CN100520380C ,2006-10-04
[8]
检查装置及检查方法 [P]. 
铃木信介 ;
寺田浩敏 ;
松田俊辅 .
中国专利 :CN111564384A ,2020-08-21
[9]
检查装置及检查方法 [P]. 
铃木胜 ;
水野央之 .
中国专利 :CN104423147A ,2015-03-18
[10]
检查装置及检查方法 [P]. 
铃木信介 ;
寺田浩敏 ;
松田俊辅 .
中国专利 :CN107210244A ,2017-09-26