检查装置及检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010418363.2

申请日：

2016-01-08

公开(公告)号：

CN111564384A

公开(公告)日：

2020-08-21

发明(设计)人：

铃木信介寺田浩敏松田俊辅

申请人：

申请人地址：

日本静冈县

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L23544 B23K2603 B23K2670

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

杨琦

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-21	公开	公开
2020-09-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20160108

共 50 条

[1]

检查装置及检查方法 [P].

铃木信介 ;

寺田浩敏 ;

松田俊辅 .

中国专利 :CN107210244A ,2017-09-26

[2]

检查方法及检查装置 [P].

中村共则 ;

大高章弘 .

中国专利 :CN107250786A ,2017-10-13

[3]

检查装置及检查方法 [P].

河崎武士 ;

藤井雅治 .

中国专利 :CN113834812A ,2021-12-24

[4]

检查装置及检查方法 [P].

佐野育 ;

坂本刚志 .

中国专利 :CN114531857A ,2022-05-24

[5]

检查装置及检查方法 [P].

中村共则 .

中国专利 :CN108369211B ,2018-08-03

[6]

检查装置及检查方法 [P].

佐野育 ;

坂本刚志 .

中国专利 :CN114430706A ,2022-05-03

[7]

检查装置及检查方法 [P].

佐野育 ;

坂本刚志 .

日本专利 :CN114531857B ,2024-12-03

[8]

检查装置及检查方法 [P].

井上佳介 ;

胜间常泰 ;

影山精一 ;

滨田正纪 ;

小川隆司 .

中国专利 :CN1967261A ,2007-05-23

[9]

检查装置及检查方法 [P].

村冈力夫 .

中国专利 :CN109540899A ,2019-03-29

[10]

检查装置及检查方法 [P].

松久保贵裕 ;

新井健史 .

日本专利 :CN120769972A ,2025-10-10

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