基于光生载流子效应的拉曼光谱表征4H-SiC电学性质方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202010848838.1
申请日
2020-08-21
公开(公告)号
CN111880072A
公开(公告)日
2020-11-03
发明(设计)人
徐宗伟 刘涛 宋莹 王虹
申请人
申请人地址
300072 天津市南开区卫津路92号
IPC主分类号
G01R31265
IPC分类号
G01R3126 G01N2165 G01N2101
代理机构
天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201
代理人
程毓英
法律状态
实质审查的生效
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共 49 条
[1]
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[2]
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
一种基于增强拉曼光谱效应检测双酚A的方法 [P]. 
朱颖越 ;
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[8]
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顾泓 ;
周桃飞 ;
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张志强 ;
王建峰 ;
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[9]
改善4H-SiC PMOS沟道载流子迁移率以及栅氧可靠性的工艺方法 [P]. 
孙先锋 ;
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[10]
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党睿 ;
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