一种硅片载片治具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020586302.9

申请日：

2010-11-02

公开(公告)号：

CN201788957U

公开(公告)日：

2011-04-06

发明(设计)人：

任文星管延平

申请人：

申请人地址：

261205 山东省潍坊市高新区桃园街7903号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

济南舜源专利事务所有限公司 37205

代理人：

李江

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-04-06	授权	授权
2016-12-21	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101692972294 IPC(主分类):H01L 21/67 专利号:ZL2010205863029 申请日:20101102 授权公告日:20110406 终止日期:20151102

共 50 条

[1]

硅片载片篮 [P].

何旭梅 ;

向小龙 ;

周善培 ;

何旭芳 ;

郦晓苗 .

中国专利 :CN201402816Y ,2010-02-10

[2]

一种硅片载具 [P].

滕勇 ;

彭应龙 ;

周毅 .

中国专利 :CN204991669U ,2016-01-20

[3]

一种硅片载具 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN214271035U ,2021-09-24

[4]

硅片治具 [P].

张学强 ;

戴军 ;

张建伟 ;

罗银兵 ;

刘庆威 .

中国专利 :CN210640210U ,2020-05-29

[5]

一种硅片镀膜载具 [P].

田西林 ;

张伟 ;

张娟 ;

陈跃 ;

崔国庆 ;

卞强 .

中国专利 :CN210325728U ,2020-04-14

[6]

一种硅片加工载具 [P].

周荣华 ;

杨战营 .

中国专利 :CN218196153U ,2023-01-03

[7]

一种RTA机台退火载片治具 [P].

毛烨琪 ;

陈景超 ;

吕守贵 ;

郭磊 ;

董国庆 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN223273260U ,2025-08-26

[8]

一种硅片存放治具 [P].

沈志文 .

中国专利 :CN218274543U ,2023-01-10

[9]

一种硅片抛光治具 [P].

郑勇 ;

魏永利 .

中国专利 :CN212735527U ,2021-03-19

[10]

一种硅片脱胶治具 [P].

王晓丽 ;

管延平 .

中国专利 :CN201784066U ,2011-04-06

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