一种硅片载具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520599369.9

申请日：

2015-08-10

公开(公告)号：

CN204991669U

公开(公告)日：

2016-01-20

发明(设计)人：

滕勇彭应龙周毅

申请人：

申请人地址：

614000 四川省乐山市人民西路287号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L2168 H01L21683

代理机构：

四川力久律师事务所 51221

代理人：

熊晓果;林辉轮

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-01-20	授权	授权
2018-05-01	避免重复授权放弃专利权	避免重复授予专利权 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20150810 授权公告日:20160120 放弃生效日:20180424

共 50 条

[1]

一种硅片载具 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN214271035U ,2021-09-24

[2]

一种硅片镀膜载具 [P].

田西林 ;

张伟 ;

张娟 ;

陈跃 ;

崔国庆 ;

卞强 .

中国专利 :CN210325728U ,2020-04-14

[3]

一种硅片加工载具 [P].

周荣华 ;

杨战营 .

中国专利 :CN218196153U ,2023-01-03

[4]

一种硅片载具检测装置 [P].

王相军 ;

梁建 ;

戴洪烨 ;

鱼科军 .

中国专利 :CN214203621U ,2021-09-14

[5]

一种硅片载片治具 [P].

任文星 ;

管延平 .

中国专利 :CN201788957U ,2011-04-06

[6]

一种硅片扩散用载具 [P].

朱亚文 ;

初亚东 ;

刘宁 ;

纪大鹏 ;

张正 ;

马迁益 .

中国专利 :CN220324427U ,2024-01-09

[7]

一种用于硅片研磨载具 [P].

周磊 ;

段琳琳 .

中国专利 :CN222831539U ,2025-05-06

[8]

硅片限位结构以及硅片载具 [P].

余仲 ;

左忠祥 ;

庞才伟 .

中国专利 :CN220474586U ,2024-02-09

[9]

一种硅片载具及硅片湿法加工装置 [P].

周旭 ;

孟夏杰 .

中国专利 :CN222785268U ,2025-04-22

[10]

一种用于承载硅片的载具 [P].

王钰 ;

彭高攀 ;

李会滨 ;

刘倩 .

中国专利 :CN218160314U ,2022-12-27

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