一种硅片载具及硅片湿法加工装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421328351.0

申请日：

2024-06-12

公开(公告)号：

CN222785268U

公开(公告)日：

2025-04-22

发明(设计)人：

周旭孟夏杰

申请人：

通威太阳能（成都）有限公司

申请人地址：

610000 四川省成都市双流区西南航空港经济开发区工业集中发展区六期内

IPC主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/67 H10F71/00

代理机构：

广州德科知识产权代理有限公司 44381

代理人：

陈晓妍

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省徐州市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-22	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片载具及加工设备 [P].

陈洪鑫 ;

朱太荣 ;

刘群 .

中国专利 :CN221166738U ,2024-06-18

[2]

硅片输送载具及硅片传送装置 [P].

苏金财 .

中国专利 :CN208507708U ,2019-02-15

[3]

一种硅片加工载具 [P].

周荣华 ;

杨战营 .

中国专利 :CN218196153U ,2023-01-03

[4]

硅片输送载具及硅片传送装置 [P].

罗搏飞 ;

吴勇茂 ;

冼志军 .

中国专利 :CN210628273U ,2020-05-26

[5]

硅片移载装置及硅片加工设备 [P].

汪滢 ;

张政青 ;

马航 ;

董雪迪 .

中国专利 :CN220651982U ,2024-03-22

[6]

一种硅片载具 [P].

滕勇 ;

彭应龙 ;

周毅 .

中国专利 :CN204991669U ,2016-01-20

[7]

一种硅片载具 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN214271035U ,2021-09-24

[8]

硅片载具支撑装置及硅片反应设备 [P].

张勇 ;

易炜 ;

彭亚萍 ;

邓金生 .

中国专利 :CN222721903U ,2025-04-04

[9]

一种硅片翻转组件、硅片输送装置及硅片加工系统 [P].

严文言 ;

李雪锋 ;

李阳 .

中国专利 :CN222051725U ,2024-11-22

[10]

硅片限位结构以及硅片载具 [P].

余仲 ;

左忠祥 ;

庞才伟 .

中国专利 :CN220474586U ,2024-02-09

← 1 2 3 4 5 →