硅片输送载具及硅片传送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922014081.1

申请日：

2019-11-20

公开(公告)号：

CN210628273U

公开(公告)日：

2020-05-26

发明(设计)人：

罗搏飞吴勇茂冼志军

申请人：

申请人地址：

213133 江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343

代理人：

汪海屏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-26	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片输送载具及硅片传送装置 [P].

苏金财 .

中国专利 :CN208507708U ,2019-02-15

[2]

基于AGV的硅片载具传送装置 [P].

于彬 ;

李昂 ;

唐光明 .

中国专利 :CN212625524U ,2021-02-26

[3]

硅片分片传送装置及硅片传送方法 [P].

顾韻 ;

凌兆贵 .

中国专利 :CN104609146A ,2015-05-13

[4]

硅片载具支撑装置及硅片反应设备 [P].

张勇 ;

易炜 ;

彭亚萍 ;

邓金生 .

中国专利 :CN222721903U ,2025-04-04

[5]

硅片传送装置 [P].

倪晋涛 ;

郭庆红 ;

袁为进 ;

王言强 ;

张怡帆 .

中国专利 :CN222051720U ,2024-11-22

[6]

硅片吸附装置、硅片传送装置、硅片传输系统及传送方法 [P].

王刚 ;

张荣军 ;

姜晓玉 ;

施益超 ;

刘凯 ;

陈俊朋 .

中国专利 :CN108666251A ,2018-10-16

[7]

硅片限位结构以及硅片载具 [P].

余仲 ;

左忠祥 ;

庞才伟 .

中国专利 :CN220474586U ,2024-02-09

[8]

气相沉积用硅片载具及硅片载板 [P].

杨与胜 ;

倪鹏玉 ;

张建德 ;

刘义军 .

中国专利 :CN213977871U ,2021-08-17

[9]

能够传送翘曲硅片的硅片传送装置 [P].

乔俊 ;

陈巍 ;

吴长明 .

中国专利 :CN202662582U ,2013-01-09

[10]

硅片输送装置及硅片检测装置 [P].

徐飞 ;

李昶 .

中国专利 :CN217478208U ,2022-09-23

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