能够传送翘曲硅片的硅片传送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220200447.X

申请日：

2012-05-07

公开(公告)号：

CN202662582U

公开(公告)日：

2013-01-09

发明(设计)人：

乔俊陈巍吴长明

申请人：

申请人地址：

201206 上海市浦东新区川桥路1188号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

张骥

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-01-29	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101687952215 IPC(主分类):H01L 21/677 专利号:ZL201220200447X 变更事项:专利权人变更前权利人:上海华虹NEC电子有限公司变更后权利人:上海华虹宏力半导体制造有限公司变更事项:地址变更前权利人:201206 上海市浦东新区川桥路1188号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号登记生效日:20140102
2013-01-09	授权	授权
2016-06-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101667733352 IPC(主分类):H01L 21/677 专利号:ZL201220200447X 申请日:20120507 授权公告日:20130109 终止日期:20150507

共 50 条

[1]

硅片传送装置 [P].

倪晋涛 ;

郭庆红 ;

袁为进 ;

王言强 ;

张怡帆 .

中国专利 :CN222051720U ,2024-11-22

[2]

硅片分片传送装置及硅片传送方法 [P].

顾韻 ;

凌兆贵 .

中国专利 :CN104609146A ,2015-05-13

[3]

硅片自动传送装置 [P].

顾韻 ;

吴艽 .

中国专利 :CN215896340U ,2022-02-22

[4]

硅片升降传送装置 [P].

闫善韵 .

中国专利 :CN213264243U ,2021-05-25

[5]

硅片分片传送装置 [P].

顾韻 ;

凌兆贵 .

中国专利 :CN204473791U ,2015-07-15

[6]

硅片烘干炉的硅片传送装置 [P].

罗贤良 ;

苏金财 .

中国专利 :CN207529914U ,2018-06-22

[7]

硅片吸附装置、硅片传送装置、硅片传输系统及传送方法 [P].

王刚 ;

张荣军 ;

姜晓玉 ;

施益超 ;

刘凯 ;

陈俊朋 .

中国专利 :CN108666251A ,2018-10-16

[8]

硅片输送载具及硅片传送装置 [P].

苏金财 .

中国专利 :CN208507708U ,2019-02-15

[9]

硅片输送载具及硅片传送装置 [P].

罗搏飞 ;

吴勇茂 ;

冼志军 .

中国专利 :CN210628273U ,2020-05-26

[10]

防打滑硅片传送装置 [P].

王少华 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

邹海军 .

中国专利 :CN205789910U ,2016-12-07

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