硅片传送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323668724.7

申请日：

2023-12-29

公开(公告)号：

CN222051720U

公开(公告)日：

2024-11-22

发明(设计)人：

倪晋涛郭庆红袁为进王言强张怡帆

申请人：

洛阳阿特斯光伏科技有限公司阿特斯光伏电力（洛阳）有限公司

申请人地址：

471000 河南省洛阳市洛龙区科技园关林大道10号

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

代理机构：

北京景闻知识产权代理有限公司 11742

代理人：

谢欢

法律状态：

授权

国省代码：

河南省洛阳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-22	授权	授权

共 50 条

[1]

能够传送翘曲硅片的硅片传送装置 [P].

乔俊 ;

陈巍 ;

吴长明 .

中国专利 :CN202662582U ,2013-01-09

[2]

硅片自动传送装置 [P].

顾韻 ;

吴艽 .

中国专利 :CN215896340U ,2022-02-22

[3]

硅片升降传送装置 [P].

闫善韵 .

中国专利 :CN213264243U ,2021-05-25

[4]

硅片分片传送装置 [P].

顾韻 ;

凌兆贵 .

中国专利 :CN204473791U ,2015-07-15

[5]

硅片烘干炉的硅片传送装置 [P].

罗贤良 ;

苏金财 .

中国专利 :CN207529914U ,2018-06-22

[6]

防打滑硅片传送装置 [P].

王少华 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

邹海军 .

中国专利 :CN205789910U ,2016-12-07

[7]

硅片输送载具及硅片传送装置 [P].

苏金财 .

中国专利 :CN208507708U ,2019-02-15

[8]

硅片分片传送装置及硅片传送方法 [P].

顾韻 ;

凌兆贵 .

中国专利 :CN104609146A ,2015-05-13

[9]

硅片输送载具及硅片传送装置 [P].

罗搏飞 ;

吴勇茂 ;

冼志军 .

中国专利 :CN210628273U ,2020-05-26

[10]

硅片吸附装置、硅片传送装置、硅片传输系统及传送方法 [P].

王刚 ;

张荣军 ;

姜晓玉 ;

施益超 ;

刘凯 ;

陈俊朋 .

中国专利 :CN108666251A ,2018-10-16

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