硅片吸附装置、硅片传送装置、硅片传输系统及传送方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710210557.1

申请日：

2017-03-31

公开(公告)号：

CN108666251A

公开(公告)日：

2018-10-16

发明(设计)人：

王刚张荣军姜晓玉施益超刘凯陈俊朋

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2168 H01L21683

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20170331
2020-11-20	授权	授权
2018-10-16	公开	公开

共 50 条

[1]

硅片分片传送装置及硅片传送方法 [P].

顾韻 ;

凌兆贵 .

中国专利 :CN104609146A ,2015-05-13

[2]

硅片传送装置 [P].

倪晋涛 ;

郭庆红 ;

袁为进 ;

王言强 ;

张怡帆 .

中国专利 :CN222051720U ,2024-11-22

[3]

能够传送翘曲硅片的硅片传送装置 [P].

乔俊 ;

陈巍 ;

吴长明 .

中国专利 :CN202662582U ,2013-01-09

[4]

一种硅片传输装置、硅片传输系统及硅片传输方法 [P].

李永杰 ;

张建峰 ;

朱元 ;

王森 .

中国专利 :CN108735642B ,2024-10-25

[5]

硅片输送载具及硅片传送装置 [P].

苏金财 .

中国专利 :CN208507708U ,2019-02-15

[6]

硅片输送载具及硅片传送装置 [P].

罗搏飞 ;

吴勇茂 ;

冼志军 .

中国专利 :CN210628273U ,2020-05-26

[7]

一种硅片传输装置、硅片传输系统及硅片传输方法 [P].

李永杰 ;

张建峰 ;

朱元 ;

王森 .

中国专利 :CN108735642A ,2018-11-02

[8]

硅片自动传送装置 [P].

顾韻 ;

吴艽 .

中国专利 :CN215896340U ,2022-02-22

[9]

硅片升降传送装置 [P].

闫善韵 .

中国专利 :CN213264243U ,2021-05-25

[10]

硅片分片传送装置 [P].

顾韻 ;

凌兆贵 .

中国专利 :CN204473791U ,2015-07-15

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