扫描脉冲退火装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580035113.8

申请日：

2015-06-15

公开(公告)号：

CN106663629B

公开(公告)日：

2017-05-10

发明(设计)人：

阿伦·缪尔·亨特阿米科姆·萨德塞缪尔·C·豪厄尔斯道格拉斯·E·霍姆格伦布鲁斯·E·亚当斯西奥多·P·莫菲特斯蒂芬·莫法特

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21324

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101724562807 IPC(主分类):H01L 21/324 专利申请号:2015800351138 申请日:20150615
2020-01-10	授权	授权
2017-05-10	公开	公开

共 50 条

[1]

扫描脉冲退火装置及方法 [P].

阿伦·缪尔·亨特 ;

阿米科姆·萨德 ;

塞缪尔·C·豪厄尔斯 ;

道格拉斯·E·霍姆格伦 ;

布鲁斯·E·亚当斯 ;

西奥多·P·莫菲特 ;

斯蒂芬·莫法特 .

中国专利 :CN107578991A ,2018-01-12

[2]

脉冲退火装置 [P].

吴瑶 ;

墙子跃 ;

王彩霞 ;

赵晓霞 ;

宗军 .

中国专利 :CN117737356A ,2024-03-22

[3]

电脉冲退火软化处理装置 [P].

孙红镱 ;

马文琦 .

中国专利 :CN2698807Y ,2005-05-11

[4]

退火装置及退火方法 [P].

谢博钧 .

中国专利 :CN104124400A ,2014-10-29

[5]

退火装置及退火方法 [P].

田中哲平 .

日本专利 :CN113169053B ,2024-11-15

[6]

退火装置及退火方法 [P].

田中哲平 .

中国专利 :CN113169053A ,2021-07-23

[7]

退火装置及退火方法 [P].

王建卫 ;

沈一春 ;

庄卫星 ;

张贤根 ;

施敏丰 .

中国专利 :CN109371472A ,2019-02-22

[8]

退火装置及退火方法 [P].

贺凯华 .

中国专利 :CN107799395A ,2018-03-13

[9]

电工纯铁真空脉冲氢气退火装置及方法 [P].

程强 .

中国专利 :CN102899465B ,2013-01-30

[10]

退火装置的控制装置、退火装置、及退火方法 [P].

冈田康弘 ;

万雅史 .

中国专利 :CN115621161A ,2023-01-17

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