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退火装置的控制装置、退火装置、及退火方法
被引：0
申请号：
CN202210808731.3
申请日：
2022-07-11
公开(公告)号：
CN115621161A
公开(公告)日：
2023-01-17
发明(设计)人：
冈田康弘
万雅史
申请人：
申请人地址：
日本东京品川区大崎二丁目1番1号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21324
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
高益秀;刘芳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-17 | 公开 | 公开 |
| 2023-02-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20220711 |