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退火方法和退火装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202211216750.3
申请日：
2022-09-30
公开(公告)号：
CN115440631B
公开(公告)日：
2025-04-18
发明(设计)人：
康晓旭
申请人：
上海集成电路研发中心有限公司
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
申请人地址：
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/324
代理机构：
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286
代理人：
吴浩
法律状态：
授权
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-04-18 | 授权 | 授权 |