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一种用载具输送的MEMS器件AOI检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011296200.8
申请日：
2020-11-18
公开(公告)号：
CN112371530A
公开(公告)日：
2021-02-19
发明(设计)人：
林锵
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙华区龙华街道清湖社区清祥路与清华路交界处宇威厂区综合楼C栋A座三层3C室
IPC主分类号：
B07C502
IPC分类号：
B07C5342
B07C536
代理机构：
深圳众邦专利代理有限公司 44545
代理人：
郭晓宇
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B07C 5/02 申请日:20201118 |
| 2021-02-19 | 公开 | 公开 |