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晶圆表面粗糙度检测装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111263869.1
申请日：
2021-10-27
公开(公告)号：
CN114001701A
公开(公告)日：
2022-02-01
发明(设计)人：
黄晓波
宋向东
申请人：
申请人地址：
337016 江西省萍乡市湘东区下埠产业园西扩区
IPC主分类号：
G01B2130
IPC分类号：
代理机构：
南昌金轩知识产权代理有限公司 36129
代理人：
彭小娇
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-01 | 公开 | 公开 |
| 2022-02-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/30 申请日:20211027 |