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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-02-10 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101645507400 IPC(主分类):G03F 7/004 专利号:ZL021578559 申请日:20021220 授权公告日:20050824 终止日期:20141220 |
| 2003-07-02 | 公开 | 公开 |
| 2008-03-26 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 变更后:日本东京都 变更事项:专利权人 变更前:捷时雅株式会社 变更后:JSR株式会社 变更事项:地址 变更前:日本东京都 |
| 2005-08-24 | 授权 | 授权 |
| 2004-04-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |