多层胶片厚度的太赫兹波反射式在线测量方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201810320528.5
申请日
2018-04-11
公开(公告)号
CN108592805A
公开(公告)日
2018-09-28
发明(设计)人
杭柏林 安昌喜 王孔茂
申请人
申请人地址
266000 山东省青岛市市北区郑州路3号
IPC主分类号
G01B1106
IPC分类号
代理机构
青岛中天汇智知识产权代理有限公司 37241
代理人
陈磊
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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