一种光刻胶剥离液及其制备方法、应用方法

被引：0

申请号：

CN202111404444.8

申请日：

2021-11-24

公开(公告)号：

CN114509927A

公开(公告)日：

2022-05-17

发明(设计)人：

王维潘春林李自杰林秋玉

申请人：

申请人地址：

350003 福建省福州市鼓楼区软件大道89号福州软件园G区13号楼二层201室

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

熊永强

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-17	公开	公开
2022-06-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/42 申请日:20211124

共 50 条

[1]

一种显影液及其制备方法、光刻胶的显影方法 [P].

王维 ;

潘春林 ;

李自杰 ;

林秋玉 .

中国专利 :CN114509926A ,2022-05-17

[2]

一种光刻胶剥离液及其制备方法和应用 [P].

张伟明 ;

李玉兴 .

中国专利 :CN117518750A ,2024-02-06

[3]

光刻胶剥离液及其应用 [P].

张伟明 ;

李玉兴 ;

衡京 ;

张继贤 .

中国专利 :CN118759809A ,2024-10-11

[4]

一种高效光刻胶剥离液及其应用 [P].

吴鹏珍 ;

刘兵 .

中国专利 :CN106292209A ,2017-01-04

[5]

一种正性光刻胶剥离液及其制备方法 [P].

曹学增 .

中国专利 :CN101251722B ,2008-08-27

[6]

一种水性光刻胶剥离液及其制备方法 [P].

李向峰 ;

高豹 ;

黄安宁 ;

余何建 ;

马刚 ;

石颖颖 .

中国专利 :CN118642337A ,2024-09-13

[7]

一种光刻胶用剥离液及其制备方法 [P].

卢燕燕 ;

张丽燕 ;

陈美玲 .

中国专利 :CN118295222A ,2024-07-05

[8]

一种水系光刻胶剥离液及其制备方法 [P].

赵程程 ;

赵建国 ;

王维康 ;

何烨谦 ;

黄德新 ;

龚升 .

中国专利 :CN120428528A ,2025-08-05

[9]

一种光刻胶用剥离液及其制备方法 [P].

卢燕燕 ;

张丽燕 ;

陈美玲 .

中国专利 :CN118295222B ,2025-08-12

[10]

一种半导体芯片光刻胶剥离液及其制备方法与应用 [P].

侯军 ;

吕晶 ;

任浩楠 ;

徐孔畅敏 .

中国专利 :CN118502207A ,2024-08-16

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