一种显影液及其制备方法、光刻胶的显影方法

被引：0

申请号：

CN202111404428.9

申请日：

2021-11-24

公开(公告)号：

CN114509926A

公开(公告)日：

2022-05-17

发明(设计)人：

王维潘春林李自杰林秋玉

申请人：

申请人地址：

350003 福建省福州市鼓楼区软件大道89号福州软件园G区13号楼二层201室

IPC主分类号：

G03F732

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

熊永强

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-17	公开	公开
2022-06-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/32 申请日:20211124

共 50 条

[1]

一种光刻胶剥离液及其制备方法、应用方法 [P].

王维 ;

潘春林 ;

李自杰 ;

林秋玉 .

中国专利 :CN114509927A ,2022-05-17

[2]

光刻胶显影液 [P].

东野诚司 ;

名塚康隆 .

中国专利 :CN101657761A ,2010-02-24

[3]

光刻胶显影液 [P].

郑玄铁 ;

李相大 ;

丁镇培 .

中国专利 :CN106406037B ,2017-02-15

[4]

一种光刻胶显影液 [P].

罗利 .

中国专利 :CN106527065A ,2017-03-22

[5]

负性光刻胶显影液及其制备方法、应用 [P].

王芳 ;

王博 ;

尹怀刚 ;

侯倩 .

中国专利 :CN113253580A ,2021-08-13

[6]

一种负性光刻胶显影液 [P].

梁小朝 ;

连杰 ;

姚浩川 ;

黄德新 .

中国专利 :CN110647018A ,2020-01-03

[7]

一种负性光刻胶显影液及其制备方法 [P].

卢燕燕 ;

张丽燕 .

中国专利 :CN113848686A ,2021-12-28

[8]

一种负性光刻胶显影液 [P].

卢燕燕 ;

张丽燕 .

中国专利 :CN108594606A ,2018-09-28

[9]

一种正性光刻胶用显影液及其应用 [P].

李森虎 ;

殷福华 ;

徐辉 ;

赵文虎 ;

顾玲燕 .

中国专利 :CN107357140B ,2017-11-17

[10]

一种干膜光刻胶用显影液及其制备方法 [P].

王晓伟 .

中国专利 :CN111965958A ,2020-11-20

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