一种正性光刻胶用显影液及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710825460.1

申请日：

2017-09-14

公开(公告)号：

CN107357140B

公开(公告)日：

2017-11-17

发明(设计)人：

李森虎殷福华徐辉赵文虎顾玲燕

申请人：

申请人地址：

214400 江苏省无锡市江阴市周庄镇长寿云顾路581号

IPC主分类号：

G03F732

IPC分类号：

代理机构：

无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348

代理人：

杜兴

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/32 申请日:20170914
2021-05-04	授权	授权
2017-11-17	公开	公开

共 50 条

[1]

正性光刻胶用显影液及光刻工艺中的显影方法 [P].

姚广福 ;

钱志浩 .

中国专利 :CN102540771A ,2012-07-04

[2]

光刻胶显影液 [P].

东野诚司 ;

名塚康隆 .

中国专利 :CN101657761A ,2010-02-24

[3]

光刻胶显影液 [P].

郑玄铁 ;

李相大 ;

丁镇培 .

中国专利 :CN106406037B ,2017-02-15

[4]

一种光刻胶显影液 [P].

罗利 .

中国专利 :CN106527065A ,2017-03-22

[5]

一种负性光刻胶显影液及其应用 [P].

谭智敏 ;

徐雅玲 ;

黄源 ;

严兵华 .

中国专利 :CN102929109A ,2013-02-13

[6]

一种显影液及其制备方法、光刻胶的显影方法 [P].

王维 ;

潘春林 ;

李自杰 ;

林秋玉 .

中国专利 :CN114509926A ,2022-05-17

[7]

一种光刻胶用显影液及其制备方法和应用 [P].

高小云 ;

刘兵 ;

朱一华 .

中国专利 :CN105589304B ,2016-05-18

[8]

一种KMPR光刻胶用KOH显影液 [P].

周国富 ;

李发宏 ;

窦盈莹 ;

水玲玲 ;

罗伯特·安德鲁·海耶斯 .

中国专利 :CN104597727A ,2015-05-06

[9]

负性光刻胶显影液及其制备方法、应用 [P].

王芳 ;

王博 ;

尹怀刚 ;

侯倩 .

中国专利 :CN113253580A ,2021-08-13

[10]

一种负性光刻胶显影液 [P].

梁小朝 ;

连杰 ;

姚浩川 ;

黄德新 .

中国专利 :CN110647018A ,2020-01-03

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