等离子体处理装置及等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110235970.6

申请日：

2011-08-17

公开(公告)号：

CN102387653A

公开(公告)日：

2012-03-21

发明(设计)人：

奥村智洋中山一郎川浦广幸本彻哉

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

H05H130

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

刘建

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H05H 1/30 申请日:20110817 授权公告日:20150805 终止日期:20170817
2015-08-05	授权	授权
2012-03-21	公开	公开
2013-08-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101509326578 IPC(主分类):H05H 1/30 专利申请号:2011102359706 申请日:20110817

共 50 条

[1]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

佐藤阳介 ;

宇井明生 ;

林久贵 .

中国专利 :CN105280489A ,2016-01-27

[2]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

岩濑拓 ;

荒濑高男 ;

寺仓聪志 ;

渡边勇人 ;

森政士 .

中国专利 :CN111373511A ,2020-07-03

[3]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

久保田绅治 .

日本专利 :CN113228830B ,2024-10-01

[4]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

青木裕介 ;

户花敏胜 ;

高田郁弥 ;

森北信也 ;

藤原一延 ;

阿部淳 ;

永海幸一 .

日本专利 :CN119092390A ,2024-12-06

[5]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

久保田绅治 ;

永关一也 ;

桧森慎司 ;

永海幸一 .

日本专利 :CN121148980A ,2025-12-16

[6]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

玉虫元 ;

井上雅博 .

中国专利 :CN113078040A ,2021-07-06

[7]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

青木裕介 ;

户花敏胜 ;

高田郁弥 ;

森北信也 ;

藤原一延 ;

阿部淳 ;

永海幸一 .

中国专利 :CN112103165A ,2020-12-18

[8]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

上坂友佑人 .

日本专利 :CN120188576A ,2025-06-20

[9]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

久保田绅治 ;

永关一也 ;

桧森慎司 ;

永海幸一 .

中国专利 :CN112951698A ,2021-06-11

[10]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

门田太一 ;

北川淳一 ;

山下润 ;

中村秀雄 .

中国专利 :CN102403182A ,2012-04-04

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