静电驱动器以及静电驱动器的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680039239.7

申请日：

2016-07-06

公开(公告)号：

CN107710590B

公开(公告)日：

2018-02-16

发明(设计)人：

实吉敬二中田壮星

申请人：

申请人地址：

日本神奈川

IPC主分类号：

H02N100

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

徐殿军

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H02N 1/00 申请日:20160706
2018-02-16	公开	公开
2020-01-07	授权	授权

共 50 条

[1]

静电驱动器 [P].

高桥德男 .

中国专利 :CN102906986A ,2013-01-30

[2]

静电驱动器以及其驱动方法 [P].

高桥功 .

中国专利 :CN101283503A ,2008-10-08

[3]

梳齿型静电驱动器 [P].

加藤嘉睦 ;

森惠一 .

中国专利 :CN101246258A ,2008-08-20

[4]

静电枪驱动器和实施静电枪驱动器的方法 [P].

约瑟夫·埃莱克 .

美国专利 :CN120076868A ,2025-05-30

[5]

静电驱动器、微机械部件及用于静电驱动器和微机械部件的制造方法 [P].

T·皮尔克 ;

S·平特 ;

M·克吕格尔 ;

J·穆霍 ;

J·弗里茨 ;

C·弗里泽 .

中国专利 :CN102187563A ,2011-09-14

[6]

静电吸附式驱动器 [P].

李晓政 ;

曹崇景 ;

高兴 .

中国专利 :CN117411350A ,2024-01-16

[7]

压电驱动器以及压电驱动器的制造方法 [P].

秦健次郎 .

中国专利 :CN101908834A ,2010-12-08

[8]

静电驱动器及其实现方法 [P].

班圣光 ;

张乃川 ;

石拓 .

中国专利 :CN117348029A ,2024-01-05

[9]

静电驱动器及其实现方法 [P].

班圣光 ;

张乃川 ;

石拓 .

中国专利 :CN117348030A ,2024-01-05

[10]

静电驱动器及其实现方法 [P].

班圣光 ;

张乃川 ;

石拓 .

中国专利 :CN117348028A ,2024-01-05

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