梳齿型静电驱动器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710303585.4

申请日：

2007-12-28

公开(公告)号：

CN101246258A

公开(公告)日：

2008-08-20

发明(设计)人：

加藤嘉睦森惠一

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G02B2608

IPC分类号：

B81B300

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-09-02	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-08-20	公开	公开
2016-02-24	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101647544284 IPC(主分类):G02B 26/08 专利号:ZL2007103035854 申请日:20071228 授权公告日:20101110 终止日期:20141228
2010-11-10	授权	授权

共 50 条

[1]

静电驱动器以及静电驱动器的制造方法 [P].

实吉敬二 ;

中田壮星 .

中国专利 :CN107710590B ,2018-02-16

[2]

静电驱动器 [P].

高桥德男 .

中国专利 :CN102906986A ,2013-01-30

[3]

一种梯形梳齿、静电梳齿驱动器及MEMS扫描镜 [P].

郭俊兴 ;

杜先鹏 ;

金传广 .

中国专利 :CN112255781A ,2021-01-22

[4]

一种梯形梳齿、静电梳齿驱动器及MEMS扫描镜 [P].

郭俊兴 ;

杜先鹏 ;

金传广 .

中国专利 :CN214097963U ,2021-08-31

[5]

静电驱动器以及其驱动方法 [P].

高桥功 .

中国专利 :CN101283503A ,2008-10-08

[6]

静电枪驱动器和实施静电枪驱动器的方法 [P].

约瑟夫·埃莱克 .

美国专利 :CN120076868A ,2025-05-30

[7]

静电驱动器及使用该驱动器的静电微动继电器等其他设备 [P].

秋叶朗 ;

宇野圭辅 ;

城岛正男 ;

积知范 ;

佐野浩二 .

中国专利 :CN1417826A ,2003-05-14

[8]

静电驱动器及其实现方法 [P].

班圣光 ;

张乃川 ;

石拓 .

中国专利 :CN117348028A ,2024-01-05

[9]

静电驱动器及其实现方法 [P].

班圣光 ;

张乃川 ;

石拓 .

中国专利 :CN117348029A ,2024-01-05

[10]

静电驱动器及其实现方法 [P].

班圣光 ;

张乃川 ;

石拓 .

中国专利 :CN117348030A ,2024-01-05

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