一种梯形梳齿、静电梳齿驱动器及MEMS扫描镜

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022767909.3

申请日：

2020-11-25

公开(公告)号：

CN214097963U

公开(公告)日：

2021-08-31

发明(设计)人：

郭俊兴杜先鹏金传广

申请人：

申请人地址：

215100 江苏省苏州市吴中区东吴北路8号国裕大厦一期1401室

IPC主分类号：

G02B2608

IPC分类号：

G02B2610

代理机构：

北京金硕果知识产权代理事务所(普通合伙) 11259

代理人：

郝晓霞

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-31	授权	授权

共 50 条

[1]

一种梯形梳齿、静电梳齿驱动器及MEMS扫描镜 [P].

郭俊兴 ;

杜先鹏 ;

金传广 .

中国专利 :CN112255781A ,2021-01-22

[2]

静电梳齿驱动的二维MEMS扫描镜 [P].

许高斌 ;

王峰 ;

马渊明 ;

陈兴 ;

陈士荣 ;

冯建国 ;

于永强 ;

尹盛华 ;

季旭 .

中国专利 :CN118534638A ,2024-08-23

[3]

梳齿型静电驱动器 [P].

加藤嘉睦 ;

森惠一 .

中国专利 :CN101246258A ,2008-08-20

[4]

一种静电梳齿驱动的振镜 [P].

夏长锋 ;

宋秀敏 ;

乔大勇 ;

何伟 .

中国专利 :CN207020392U ,2018-02-16

[5]

一种用于激光雷达的双层梳齿驱动MEMS扫描镜及制备方法 [P].

许高斌 ;

杜林云 ;

花翔 ;

马渊明 ;

陈兴 ;

于永强 .

中国专利 :CN111856430A ,2020-10-30

[6]

一种静电梳齿驱动的振镜 [P].

夏长锋 ;

宋秀敏 ;

乔大勇 ;

何伟 .

中国专利 :CN107490857A ,2017-12-19

[7]

一种具有自洁功能的梳齿驱动器 [P].

宋秀敏 ;

夏长锋 ;

何伟 ;

乔大勇 .

中国专利 :CN109256979A ,2019-01-22

[8]

MEMS垂直梳齿微镜面驱动器的制作方法 [P].

李四华 ;

吴亚明 ;

徐静 .

中国专利 :CN103086316A ,2013-05-08

[9]

一种微机械静电驱动的梳齿结构 [P].

高永丰 ;

尤政 ;

赵嘉昊 .

中国专利 :CN104326434A ,2015-02-04

[10]

一种基于突出梳齿的MEMS驱动器及其工作方法 [P].

刘兆军 ;

李文睿 ;

秦增光 ;

关晨 ;

丛振华 ;

张行愚 .

中国专利 :CN109581653B ,2019-04-05

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