静电梳齿驱动的二维MEMS扫描镜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410641005.6

申请日：

2024-05-22

公开(公告)号：

CN118534638A

公开(公告)日：

2024-08-23

发明(设计)人：

许高斌王峰马渊明陈兴陈士荣冯建国于永强尹盛华季旭

申请人：

合肥工业大学

申请人地址：

230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号

IPC主分类号：

G02B26/08

IPC分类号：

G02B26/10

代理机构：

合肥金安专利事务所(普通合伙企业) 34114

代理人：

彭超

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省合肥市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-23	公开	公开
2024-09-10	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G02B 26/08申请日:20240522

共 50 条

[1]

一种梯形梳齿、静电梳齿驱动器及MEMS扫描镜 [P].

郭俊兴 ;

杜先鹏 ;

金传广 .

中国专利 :CN112255781A ,2021-01-22

[2]

一种梯形梳齿、静电梳齿驱动器及MEMS扫描镜 [P].

郭俊兴 ;

杜先鹏 ;

金传广 .

中国专利 :CN214097963U ,2021-08-31

[3]

一种压电驱动MEMS二维扫描镜及其加工方法 [P].

江添翼 ;

王建波 ;

齐志强 ;

王晨晟 .

中国专利 :CN119758585B ,2025-10-10

[4]

一种压电驱动MEMS二维扫描镜及其加工方法 [P].

江添翼 ;

王建波 ;

齐志强 ;

王晨晟 .

中国专利 :CN119758585A ,2025-04-04

[5]

基于二维MEMS扫描镜的激光雷达系统 [P].

吴世祥 ;

王瑞 ;

向少卿 ;

李一帆 .

中国专利 :CN207457495U ,2018-06-05

[6]

一种用于激光雷达的双层梳齿驱动MEMS扫描镜及制备方法 [P].

许高斌 ;

杜林云 ;

花翔 ;

马渊明 ;

陈兴 ;

于永强 .

中国专利 :CN111856430A ,2020-10-30

[7]

二维扫描微镜 [P].

程进 ;

徐乃涛 ;

孙其梁 ;

李宋泽 .

中国专利 :CN210222357U ,2020-03-31

[8]

微型二维扫描镜 [P].

马玉婷 ;

钟金凤 ;

严心涛 ;

吴云良 ;

陈忠祥 ;

裴智果 ;

王策 .

中国专利 :CN205720868U ,2016-11-23

[9]

微型二维扫描镜 [P].

马玉婷 ;

钟金凤 ;

严心涛 ;

吴云良 ;

陈忠祥 ;

裴智果 ;

王策 .

中国专利 :CN105717639A ,2016-06-29

[10]

二维扫描微镜 [P].

程进 ;

徐乃涛 ;

孙其梁 ;

李宋泽 .

中国专利 :CN110426843A ,2019-11-08

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