一种压电驱动MEMS二维扫描镜及其加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411988041.6

申请日：

2024-12-31

公开(公告)号：

CN119758585A

公开(公告)日：

2025-04-04

发明(设计)人：

江添翼王建波齐志强王晨晟

申请人：

华中光电技术研究所（中国船舶集团有限公司第七一七研究所）

申请人地址：

430223 湖北省武汉市江夏区阳光大道717号

IPC主分类号：

G02B26/08

IPC分类号：

G03F7/00 G03F7/16 G03F7/40 G03F7/42 G03F7/004 C23C28/00 C23C16/40 C23C16/50 C23C14/35 C23C14/14 C23C18/12 C23C14/30 C23C14/04 B81B7/02 B81C1/00

代理机构：

北京律谱知识产权代理有限公司 11457

代理人：

杨娟

法律状态：

公开

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

一种压电驱动MEMS二维扫描镜及其加工方法 [P].

江添翼 ;

王建波 ;

齐志强 ;

王晨晟 .

中国专利 :CN119758585B ,2025-10-10

[2]

静电梳齿驱动的二维MEMS扫描镜 [P].

许高斌 ;

王峰 ;

马渊明 ;

陈兴 ;

陈士荣 ;

冯建国 ;

于永强 ;

尹盛华 ;

季旭 .

中国专利 :CN118534638A ,2024-08-23

[3]

一种压电驱动的MEMS扫描镜 [P].

王俊亚 ;

丁小龙 ;

渠自强 ;

尤政 .

中国专利 :CN120559849A ,2025-08-29

[4]

一种电磁驱动微型二维扫描镜装置 [P].

张弛 ;

薛飞 ;

钟贤岱 ;

王中林 .

中国专利 :CN103399402B ,2013-11-20

[5]

微型二维扫描镜 [P].

马玉婷 ;

钟金凤 ;

严心涛 ;

吴云良 ;

陈忠祥 ;

裴智果 ;

王策 .

中国专利 :CN205720868U ,2016-11-23

[6]

微型二维扫描镜 [P].

马玉婷 ;

钟金凤 ;

严心涛 ;

吴云良 ;

陈忠祥 ;

裴智果 ;

王策 .

中国专利 :CN105717639A ,2016-06-29

[7]

一种压电薄膜驱动的MEMS扫描振镜 [P].

郭俊兴 ;

杜先鹏 ;

金传广 .

中国专利 :CN213240663U ,2021-05-18

[8]

一种电动二维扫描镜 [P].

刘凤峰 ;

蔡志涛 .

中国专利 :CN213690636U ,2021-07-13

[9]

二维双轴压电MEMS微镜 [P].

汪元杰 ;

邢建鹏 ;

宋宏岩 .

中国专利 :CN119511525B ,2025-10-17

[10]

一种MEMS扫描镜的制备工艺 [P].

王俊亚 ;

姬君旺 ;

丁小龙 ;

渠自强 ;

尤政 .

中国专利 :CN120553634A ,2025-08-29

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-04	公开	公开
2025-04-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G02B 26/08申请日:20241231
2025-10-10	授权	授权