一种基于突出梳齿的MEMS驱动器及其工作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910070805.6

申请日：

2019-01-25

公开(公告)号：

CN109581653B

公开(公告)日：

2019-04-05

发明(设计)人：

刘兆军李文睿秦增光关晨丛振华张行愚

申请人：

申请人地址：

250199 山东省济南市历城区山大南路27号

IPC主分类号：

G02B2608

IPC分类号：

B81B500

代理机构：

济南金迪知识产权代理有限公司 37219

代理人：

陈桂玲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-05	公开	公开
2019-04-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 26/08 申请日:20190125
2020-06-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种基于拉链梳齿的MEMS驱动器及其工作方法 [P].

刘兆军 ;

李文睿 ;

秦增光 ;

关晨 ;

丛振华 ;

张行愚 .

中国专利 :CN109761185A ,2019-05-17

[2]

一种电动驱动器及其工作方法 [P].

胡国衡 .

中国专利 :CN110344704A ,2019-10-18

[3]

LED驱动器电路及其工作方法 [P].

梁加开 .

中国专利 :CN110769566A ,2020-02-07

[4]

一种梯形梳齿、静电梳齿驱动器及MEMS扫描镜 [P].

郭俊兴 ;

杜先鹏 ;

金传广 .

中国专利 :CN112255781A ,2021-01-22

[5]

一种梯形梳齿、静电梳齿驱动器及MEMS扫描镜 [P].

郭俊兴 ;

杜先鹏 ;

金传广 .

中国专利 :CN214097963U ,2021-08-31

[6]

空调伺服驱动器的工作方法及伺服驱动器 [P].

陈友樟 ;

桂雄斌 ;

王子荣 ;

韩东 ;

许纹倚 .

中国专利 :CN105356821B ,2016-02-24

[7]

一种压电驱动器及其工作方法、与驱动机构 [P].

高翔宇 ;

任凯乐 ;

李飞 ;

靳浩楠 ;

张乐乐 ;

于文庆 ;

耿志新 ;

胡鑫 .

中国专利 :CN120896469A ,2025-11-04

[8]

MEMS垂直梳齿微镜面驱动器的制作方法 [P].

李四华 ;

吴亚明 ;

徐静 .

中国专利 :CN103086316A ,2013-05-08

[9]

显示驱动器、显示装置以及显示驱动器的工作方法 [P].

森本弘 .

中国专利 :CN106875902B ,2017-06-20

[10]

一种MEMS的微型压电驱动器 [P].

方华军 ;

刘理天 ;

任天令 .

中国专利 :CN2689586Y ,2005-03-30

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