一种具有ITO电极的垂直型锗硅光电探测器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110291296.7

申请日：

2021-03-18

公开(公告)号：

CN113130674A

公开(公告)日：

2021-07-16

发明(设计)人：

程秀兰李雅倩王晓东付学成刘民权雪玲

申请人：

申请人地址：

200240 上海市闵行区东川路800号

IPC主分类号：

H01L310224

IPC分类号：

H01L31105 H01L3118

代理机构：

上海汉声知识产权代理有限公司 31236

代理人：

胡晶

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/0224 申请日:20210318
2021-07-16	公开	公开

共 50 条

[1]

垂直型锗硅光电探测器及其制备方法 [P].

潘荷 ;

郝沁汾 .

中国专利 :CN117239002B ,2024-01-26

[2]

一种垂直型锗硅雪崩光电探测器及其制备方法 [P].

韩钊 ;

王利明 ;

王文亮 .

中国专利 :CN119562613A ,2025-03-04

[3]

垂直型ITO/黑硅光电探测器及其制备方法 [P].

张玉平 ;

唐利斌 ;

邓功荣 ;

吴刚 ;

袁绶章 ;

王博 ;

宋立媛 ;

赵鹏 ;

王静宇 ;

岳彪 ;

王海澎 ;

刘燕 ;

辛永刚 ;

王琼芳 ;

苏润洪 ;

魏虹 ;

姬玉龙 ;

黄俊博 ;

李红福 ;

李轶民 ;

敖雨 ;

彭秋思 ;

吴强 .

中国专利 :CN116435384B ,2025-11-28

[4]

一种锗硅光电探测器及其制备方法 [P].

刘健 ;

胡双元 .

中国专利 :CN105470318A ,2016-04-06

[5]

一种锗硅光电探测器 [P].

陈冠宇 ;

王剑 ;

张子尧 .

中国专利 :CN120379395A ,2025-07-25

[6]

一种锗硅光电探测器 [P].

宋俊峰 ;

刘小斌 ;

李雪妍 ;

郜峰利 .

中国专利 :CN109904274A ,2019-06-18

[7]

一种反射型锗硅雪崩光电探测器 [P].

孙耀东 ;

陈必更 ;

虞绍良 .

中国专利 :CN117334761A ,2024-01-02

[8]

垂直型光电探测器及其制备方法 [P].

贾仁需 ;

庞体强 ;

栾苏珍 ;

张玉明 ;

汪钰成 ;

刘银涛 .

中国专利 :CN107425090A ,2017-12-01

[9]

一种锗硅光电探测器 [P].

陈代高 ;

肖希 ;

王磊 ;

胡晓 ;

张宇光 ;

张红广 ;

刘敏 ;

吴定益 .

中国专利 :CN112349803B ,2021-02-09

[10]

一种锗硅光电探测器 [P].

邓雯欣 ;

储涛 .

中国专利 :CN119133271A ,2024-12-13

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