重力补偿装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310670339.8

申请日：

2013-12-10

公开(公告)号：

CN104698766B

公开(公告)日：

2015-06-10

发明(设计)人：

廖飞红戴乐薇朱岳彬

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-11	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101757004213 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2013106703398 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号
2015-07-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101616036135 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013106703398 申请日:20131210
2015-06-10	公开	公开
2017-01-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种重力补偿装置 [P].

廖飞红 ;

李小平 ;

朱岳彬 .

中国专利 :CN102486215B ,2012-06-06

[2]

磁浮重力补偿装置和微动台 [P].

彭仁强 ;

胡兵 ;

江旭初 ;

龚威 ;

陈懋毓 .

中国专利 :CN113471112A ,2021-10-01

[3]

磁浮重力补偿装置和微动台 [P].

彭仁强 ;

胡兵 ;

江旭初 ;

龚威 ;

陈懋毓 .

中国专利 :CN113471112B ,2024-02-20

[4]

重力补偿装置 [P].

M.伊拉思 .

中国专利 :CN111133385A ,2020-05-08

[5]

重力补偿装置 [P].

田丽 ;

张利 .

中国专利 :CN112271053A ,2021-01-26

[6]

重力补偿装置 [P].

萧柏森 .

中国专利 :CN102537206B ,2012-07-04

[7]

重力补偿装置 [P].

大卫·哈格 ;

皮埃尔·古荣 .

:CN121066994A ,2025-12-05

[8]

重力补偿装置 [P].

田丽 ;

张利 .

中国专利 :CN214152601U ,2021-09-07

[9]

重力补偿装置 [P].

田丽 ;

张利 .

中国专利 :CN112271053B ,2025-12-09

[10]

磁浮重力补偿装置 [P].

孟辉 .

中国专利 :CN110153971A ,2019-08-23

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