磁浮重力补偿装置和微动台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110804356.0

申请日：

2021-07-16

公开(公告)号：

CN113471112A

公开(公告)日：

2021-10-01

发明(设计)人：

彭仁强胡兵江旭初龚威陈懋毓

申请人：

申请人地址：

200135 上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号C楼

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2168 H01L21687

代理机构：

上海上谷知识产权代理有限公司 31342

代理人：

胡五荣

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

磁浮重力补偿装置和微动台 [P].

彭仁强 ;

胡兵 ;

江旭初 ;

龚威 ;

陈懋毓 .

中国专利 :CN113471112B ,2024-02-20

[2]

磁浮装置和微动台 [P].

彭仁强 ;

胡兵 ;

江旭初 ;

袁嘉欣 .

中国专利 :CN113745138A ,2021-12-03

[3]

磁浮装置和微动台 [P].

彭仁强 ;

胡兵 ;

江旭初 ;

袁嘉欣 .

中国专利 :CN113745138B ,2024-03-22

[4]

磁浮重力补偿装置 [P].

孟辉 .

中国专利 :CN110153971A ,2019-08-23

[5]

重力补偿装置、微动台及半导体设备 [P].

葛黎黎 ;

孙秀婷 ;

周畅 ;

徐鉴 .

中国专利 :CN120406055A ,2025-08-01

[6]

重力补偿装置、微动台及半导体设备 [P].

葛黎黎 ;

孙秀婷 ;

周畅 ;

徐鉴 .

中国专利 :CN120406055B ,2025-12-09

[7]

工作台及其磁浮重力补偿装置 [P].

孟辉 .

中国专利 :CN210819425U ,2020-06-23

[8]

工作台及其磁浮重力补偿装置 [P].

孟辉 .

中国专利 :CN110153971B ,2024-01-30

[9]

磁浮重力补偿装置以及包括该装置的运动台 [P].

胡兵 ;

江旭初 ;

袁嘉欣 ;

蒋赟 .

中国专利 :CN112201611A ,2021-01-08

[10]

一种具有永磁重力补偿结构的微动台 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

刘召 ;

许玉洁 ;

李玉洁 ;

田丽 ;

张利 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

秦慧超 ;

王平安 ;

尹文生 ;

胡金 ;

穆海华 .

中国专利 :CN102944979A ,2013-02-27

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