工作台及其磁浮重力补偿装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910628291.1

申请日：

2019-07-12

公开(公告)号：

CN110153971B

公开(公告)日：

2024-01-30

发明(设计)人：

孟辉

申请人：

上海隐冠半导体技术有限公司

申请人地址：

200135 上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号C楼

IPC主分类号：

B25H1/00

IPC分类号：

G03F7/20

代理机构：

上海上谷知识产权代理有限公司 31342

代理人：

蔡继清;陈婷婷

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-30	授权	授权

共 50 条

[1]

工作台及其磁浮重力补偿装置 [P].

孟辉 .

中国专利 :CN210819425U ,2020-06-23

[2]

磁浮重力补偿装置 [P].

孟辉 .

中国专利 :CN110153971A ,2019-08-23

[3]

磁浮重力补偿装置和微动台 [P].

彭仁强 ;

胡兵 ;

江旭初 ;

龚威 ;

陈懋毓 .

中国专利 :CN113471112A ,2021-10-01

[4]

磁浮重力补偿装置和微动台 [P].

彭仁强 ;

胡兵 ;

江旭初 ;

龚威 ;

陈懋毓 .

中国专利 :CN113471112B ,2024-02-20

[5]

机械补偿工作台 [P].

李强 .

中国专利 :CN201020496Y ,2008-02-13

[6]

工作台组合装置及其工作台 [P].

潘育万 .

中国专利 :CN212608143U ,2021-02-26

[7]

工作台的挠度补偿装置 [P].

吴国云 ;

叶泽刚 .

中国专利 :CN201313126Y ,2009-09-23

[8]

旋转工作台补偿 [P].

M·斯普雷彻 ;

马塞尔·罗纳 ;

M·扎普 .

中国专利 :CN114076581A ,2022-02-22

[9]

磁浮重力补偿装置以及包括该装置的运动台 [P].

胡兵 ;

江旭初 ;

袁嘉欣 ;

蒋赟 .

中国专利 :CN112201611A ,2021-01-08

[10]

大范围移动磁浮平面工作台 [P].

朱煜 ;

曹家勇 ;

张鸣 ;

尹文生 ;

汪劲松 ;

段广洪 ;

李广 ;

闵伟 .

中国专利 :CN101022040A ,2007-08-22

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