激光预分割装置及激光预分割方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910782460.7

申请日：

2019-08-23

公开(公告)号：

CN112427814A

公开(公告)日：

2021-03-02

发明(设计)人：

卢金龙苑学瑞张小军陈红卢建刚张红江尹建刚高云峰

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区深南大道9988号

IPC主分类号：

B23K2638

IPC分类号：

B23K26064 B23K26073 B23K2608 H01L2102 H01L2167

代理机构：

深圳中细软知识产权代理有限公司 44528

代理人：

孙凯乐

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B23K 26/38 申请日:20190823
2021-03-02	公开	公开
2022-08-12	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/67 登记生效日:20220802 变更事项:申请人变更前权利人:大族激光科技产业集团股份有限公司变更后权利人:深圳市大族半导体装备科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:518000 广东省深圳市南山区深南大道9988号变更后权利人:518000 广东省深圳市宝安区福海街道桥头社区万延工业区第六栋101

共 50 条

[1]

一种LED晶圆片的激光预分割方法及装置 [P].

卢金龙 ;

张小军 ;

苑学瑞 ;

陈红 ;

盛存国 ;

卢建刚 ;

张红江 ;

尹建刚 ;

高云峰 .

中国专利 :CN109676269B ,2019-04-26

[2]

一种预分割设备 [P].

刘健平 .

中国专利 :CN222967825U ,2025-06-13

[3]

激光蜂蜡分割装置 [P].

李俊宪 ;

周宏超 .

中国专利 :CN205629672U ,2016-10-12

[4]

分割方法及分割装置 [P].

清水政二 ;

川畑孝志 ;

国生智史 ;

山本幸司 ;

宫崎宇航 ;

今泉阳一 .

中国专利 :CN105461203A ,2016-04-06

[5]

分割方法及分割装置 [P].

清水政二 ;

川畑孝志 ;

国生智史 ;

山本幸司 ;

宫崎宇航 ;

今泉阳一 .

中国专利 :CN105461207A ,2016-04-06

[6]

基于激光的分割方法 [P].

井利润一郎 ;

稻田源次 ;

须釜定之 ;

西胁正行 ;

森本弘之 .

中国专利 :CN100351032C ,2005-08-24

[7]

一种激光切割方法及激光切割装置 [P].

黄舜林 ;

庄昌辉 ;

冯玙璠 ;

王晓光 ;

李志辉 ;

马雪梅 ;

吴智峰 ;

尹建刚 ;

高云峰 .

中国专利 :CN110860800A ,2020-03-06

[8]

分割方法及分割装置 [P].

中川智子 ;

植田光寿 ;

黒川正光 ;

秀岛护 .

中国专利 :CN112876056A ,2021-06-01

[9]

一种激光加工装置及激光加工方法 [P].

成学平 ;

彭荣森 ;

林国辉 ;

史册 .

中国专利 :CN112620971A ,2021-04-09

[10]

激光装置及激光加工设备 [P].

王建军 .

中国专利 :CN220718070U ,2024-04-05

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