沟槽的外延填充方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010326164.9

申请日：

2020-04-23

公开(公告)号：

CN111403266B

公开(公告)日：

2020-07-10

发明(设计)人：

李昊侯翔宇杨继业管子豪赵龙杰陆怡邢军军

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L21308

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

郭四华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-10	公开	公开
2020-08-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20200423
2022-06-21	授权	授权

共 50 条

[1]

沟槽外延的填充方法 [P].

孔蔚然 ;

季伟 ;

伍洲 .

中国专利 :CN107731733B ,2018-02-23

[2]

沟槽外延的填充方法 [P].

伍洲 .

中国专利 :CN107946175B ,2018-04-20

[3]

沟槽外延的填充方法 [P].

孔蔚然 ;

季伟 ;

伍洲 .

中国专利 :CN107919271B ,2018-04-17

[4]

沟槽外延填充方法 [P].

杨继业 ;

李昊 ;

侯翔宇 .

中国专利 :CN111403267A ,2020-07-10

[5]

沟槽的外延填充方法 [P].

伍洲 .

中国专利 :CN107611080A ,2018-01-19

[6]

沟槽型超级结外延填充方法 [P].

杨震 ;

徐丹 ;

王飞 .

中国专利 :CN105529355A ,2016-04-27

[7]

孔洞的硅外延填充方法 [P].

陈峰 ;

李佳龙 ;

曹志伟 ;

张召 .

中国专利 :CN113224093B ,2021-08-06

[8]

用于填充沟槽的硅外延方法 [P].

刘继全 ;

谢烜 ;

张宏伟 ;

缪燕 .

中国专利 :CN101866833A ,2010-10-20

[9]

深沟槽的硅外延填充方法 [P].

刘继全 ;

肖胜安 ;

季伟 ;

于源源 .

中国专利 :CN102956471A ,2013-03-06

[10]

隔离沟槽的填充方法 [P].

郑春生 ;

郭佳衢 ;

吴汉明 ;

刘明源 .

中国专利 :CN101192559A ,2008-06-04

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