沟槽型超级结外延填充方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610065771.8

申请日：

2016-01-29

公开(公告)号：

CN105529355A

公开(公告)日：

2016-04-27

发明(设计)人：

杨震徐丹王飞

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L2906

IPC分类号：

H01L2120 H01L23552

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

郭四华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101662095618 IPC(主分类):H01L 29/06 专利申请号:2016100657718 申请日:20160129
2019-02-05	授权	授权
2016-04-27	公开	公开

共 50 条

[1]

超级结的沟槽填充方法 [P].

伍洲 .

中国专利 :CN107275389B ,2017-10-20

[2]

超级结的沟槽填充方法 [P].

伍洲 .

中国专利 :CN107275205A ,2017-10-20

[3]

沟槽外延填充方法 [P].

杨继业 ;

李昊 ;

侯翔宇 .

中国专利 :CN111403267A ,2020-07-10

[4]

沟槽型超级结器件的制造方法 [P].

李昊 .

中国专利 :CN105655385B ,2016-06-08

[5]

沟槽型超级结的制造方法 [P].

李昊 .

中国专利 :CN105489501A ,2016-04-13

[6]

沟槽的外延填充方法 [P].

李昊 ;

侯翔宇 ;

杨继业 ;

管子豪 ;

赵龙杰 ;

陆怡 ;

邢军军 .

中国专利 :CN111403266B ,2020-07-10

[7]

沟槽外延的填充方法 [P].

孔蔚然 ;

季伟 ;

伍洲 .

中国专利 :CN107731733B ,2018-02-23

[8]

沟槽外延的填充方法 [P].

伍洲 .

中国专利 :CN107946175B ,2018-04-20

[9]

沟槽外延的填充方法 [P].

孔蔚然 ;

季伟 ;

伍洲 .

中国专利 :CN107919271B ,2018-04-17

[10]

超级结器件深沟槽掺杂外延填充结构浓度监测方法 [P].

支立明 ;

徐昊文 ;

张国华 .

中国专利 :CN118073216A ,2024-05-24

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