超级结器件深沟槽掺杂外延填充结构浓度监测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410137475.9

申请日：

2024-01-31

公开(公告)号：

CN118073216A

公开(公告)日：

2024-05-24

发明(设计)人：

支立明徐昊文张国华

申请人：

上海华虹宏力半导体制造有限公司

申请人地址：

201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

赵薇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20240131
2024-05-24	公开	公开

共 50 条

[1]

沟槽型超级结外延填充方法 [P].

杨震 ;

徐丹 ;

王飞 .

中国专利 :CN105529355A ,2016-04-27

[2]

深沟槽结构、超级结器件及其制造方法 [P].

杜发瑞 ;

梁海明 .

中国专利 :CN120813024A ,2025-10-17

[3]

深沟槽型超级结器件及其制作方法 [P].

杜发瑞 ;

冯海浪 .

中国专利 :CN111370305A ,2020-07-03

[4]

超级结器件的制造方法 [P].

徐进 ;

黄浩 ;

张蕾 ;

陈思彤 .

中国专利 :CN119894029A ,2025-04-25

[5]

深沟槽型超级结器件的制造方法 [P].

李昊 .

中国专利 :CN105702710A ,2016-06-22

[6]

CIS深沟槽外延层制作方法 [P].

吴天承 ;

李佳龙 ;

黄鹏 .

中国专利 :CN113113436A ,2021-07-13

[7]

改善深沟槽超级结器件IDSS离散的方法 [P].

霍文 ;

曹志伟 ;

王琦 ;

黄萌辉 .

中国专利 :CN120302698A ,2025-07-11

[8]

超级结的沟槽填充方法 [P].

伍洲 .

中国专利 :CN107275389B ,2017-10-20

[9]

超级结的沟槽填充方法 [P].

伍洲 .

中国专利 :CN107275205A ,2017-10-20

[10]

改善超级结器件深沟槽刻蚀边界形貌的方法 [P].

程晓华 .

中国专利 :CN102403257B ,2012-04-04

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