一种高质量掺钪氮化铝薄膜模板的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110347760.X

申请日：

2021-03-31

公开(公告)号：

CN113174574A

公开(公告)日：

2021-07-27

发明(设计)人：

吴亮王琦琨付丹扬龚建超刘欢

申请人：

申请人地址：

311100 浙江省杭州市余杭区余杭经济技术开发区顺风路503号3号楼五层518室

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1458 C23C1406 C23C1410 C23C1414 C23C1634 C23C1640 C23C1606 C23C1656

代理机构：

杭州宇信联合知识产权代理有限公司 33401

代理人：

王健

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-27	公开	公开
2021-08-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20210331

共 50 条

[1]

一种制备高质量氮化铝模板的方法 [P].

吴亮 ;

付丹扬 ;

王琦琨 ;

朱如忠 ;

龚建超 ;

刘欢 .

中国专利 :CN111883651A ,2020-11-03

[2]

高质量氮化铝模板及其制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

李泰 ;

王钇心 ;

李铎 ;

万文婷 .

中国专利 :CN113897678A ,2022-01-07

[3]

一种掺钪氮化铝薄膜的制备方法及掺钪氮化铝薄膜 [P].

郭凯 ;

赵腾达 ;

宋双艳 ;

陶庆爽 ;

李宏广 ;

翟思甜 .

中国专利 :CN120857847A ,2025-10-28

[4]

一种制备高质量硅基氮化铝模板的方法 [P].

吴亮 ;

付丹扬 ;

王琦琨 ;

朱如忠 ;

龚建超 ;

刘欢 .

中国专利 :CN111809154A ,2020-10-23

[5]

一种高质量氮化铝压电薄膜及其制备方法 [P].

李国强 .

中国专利 :CN111697125A ,2020-09-22

[6]

一种钪掺氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

赵祥永 ;

孙前 ;

刘肖男 ;

杨继业 ;

朱健秋 ;

张巧珍 .

中国专利 :CN120006230A ,2025-05-16

[7]

高质量a面氮化铝薄膜及其制备方法与应用 [P].

曾飞 ;

傅肃磊 ;

李起 ;

潘峰 ;

彭晶晶 .

中国专利 :CN106498395A ,2017-03-15

[8]

高质量氮化铝模板及其制备方法和应用 [P].

张纪才 ;

刘婷 .

中国专利 :CN114203535B ,2022-03-18

[9]

一种高质量单晶氮化铝薄膜及其制备方法和应用 [P].

李国强 .

中国专利 :CN113463199A ,2021-10-01

[10]

一种高质量氮化铝薄膜的同质外延生长方法 [P].

罗伟科 ;

李忠辉 .

中国专利 :CN111188090A ,2020-05-22

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