一种掺钪氮化铝薄膜的制备方法及掺钪氮化铝薄膜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510971666.X

申请日：

2025-07-15

公开(公告)号：

CN120857847A

公开(公告)日：

2025-10-28

发明(设计)人：

郭凯赵腾达宋双艳陶庆爽李宏广翟思甜

申请人：

赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创八街21号院1号楼(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)

IPC主分类号：

H10N30/082

IPC分类号：

H10N30/853 H01L21/66

代理机构：

北京众达德权知识产权代理有限公司 11570

代理人：

顾艳宇

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省宣城市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-28	公开	公开
2025-11-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H10N 30/082申请日:20250715

共 50 条

[1]

一种钪掺氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

赵祥永 ;

孙前 ;

刘肖男 ;

杨继业 ;

朱健秋 ;

张巧珍 .

中国专利 :CN120006230A ,2025-05-16

[2]

一种近零应力掺钪氮化铝薄膜制备方法 [P].

王雷 ;

李昊 ;

姜理利 ;

贾世星 ;

郁元卫 ;

黄旼 ;

朱健 .

中国专利 :CN113755804A ,2021-12-07

[3]

氮化铝掺氮化钪镀膜材料 [P].

吴文斌 ;

舒小敏 .

中国专利 :CN111962021A ,2020-11-20

[4]

一种高质量掺钪氮化铝薄膜模板的制备方法 [P].

吴亮 ;

王琦琨 ;

付丹扬 ;

龚建超 ;

刘欢 .

中国专利 :CN113174574A ,2021-07-27

[5]

一种掺钪氮化铝蚀刻液及其应用 [P].

冯帆 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

姜飞 ;

张庭 ;

班昌胜 ;

冯凯 ;

王书萍 ;

杜程 .

中国专利 :CN115044376A ,2022-09-13

[6]

氮化铝掺氮化钪靶材的生产工艺 [P].

吴文斌 ;

舒小敏 .

中国专利 :CN110590375A ,2019-12-20

[7]

一种钪掺杂氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

杨成韬 ;

胡现伟 ;

牛东伟 ;

唐佳琳 ;

泰智薇 .

中国专利 :CN107012439A ,2017-08-04

[8]

氮化铝钪材料 [P].

吴文斌 ;

舒小敏 .

中国专利 :CN110562936A ,2019-12-13

[9]

掺钪氮化铝兰姆波谐振器的制备方法 [P].

赵继聪 ;

吕世涛 ;

张凯虹 ;

叶文淏 ;

孙海燕 ;

孙泽鑫 .

中国专利 :CN119727639A ,2025-03-28

[10]

掺钪氮化铝薄膜以及柔性声表面波谐振器的制备方法 [P].

羊建坤 ;

魏同波 ;

陈仁锋 ;

冉军学 ;

霍自强 ;

王军喜 .

中国专利 :CN120485947A ,2025-08-15

← 1 2 3 4 5 →