氮化铝钪材料

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910970541.X

申请日：

2019-10-13

公开(公告)号：

CN110562936A

公开(公告)日：

2019-12-13

发明(设计)人：

吴文斌舒小敏

申请人：

申请人地址：

330800 江西省宜春市高安市新世纪工业园通城西大道

IPC主分类号：

C01B2100

IPC分类号：

C23C1406 C23C1434 C23C1435

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C01B 21/00 申请日:20191013
2019-12-13	公开	公开

共 50 条

[1]

氮化铝掺氮化钪镀膜材料 [P].

吴文斌 ;

舒小敏 .

中国专利 :CN111962021A ,2020-11-20

[2]

氮化铝钪膜及铁电体组件 [P].

召田雅实 ;

楠濑好郎 ;

饭浜准也 ;

末本祐也 ;

上冈义弘 ;

舟洼浩 ;

白石贵久 ;

安冈慎之介 ;

水谷凉一 ;

大田怜佳 .

日本专利 :CN118974306A ,2024-11-15

[3]

一种钪掺杂氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

杨成韬 ;

胡现伟 ;

牛东伟 ;

唐佳琳 ;

泰智薇 .

中国专利 :CN107012439A ,2017-08-04

[4]

一种掺钪氮化铝薄膜的制备方法及掺钪氮化铝薄膜 [P].

郭凯 ;

赵腾达 ;

宋双艳 ;

陶庆爽 ;

李宏广 ;

翟思甜 .

中国专利 :CN120857847A ,2025-10-28

[5]

氮化铝掺氮化钪靶材的生产工艺 [P].

吴文斌 ;

舒小敏 .

中国专利 :CN110590375A ,2019-12-20

[6]

一种氮化铝钪靶材及其制备方法 [P].

邱从章 .

中国专利 :CN112723893B ,2021-04-30

[7]

钪掺杂的氮化铝的选择性蚀刻 [P].

维杰·班·夏尔马 ;

巴拉特瓦·罗摩克里希南 ;

苏克蒂·查特吉 .

美国专利 :CN117981060A ,2024-05-03

[8]

一种多孔钪氮化铝单晶材料、其制备方法及应用 [P].

陈晨龙 ;

蔡文汉 ;

叶宁 ;

颜涛 ;

王俪霖 ;

李俊谕 ;

孙姝婧 .

中国专利 :CN113502543A ,2021-10-15

[9]

一种用于高掺钪浓度氮化铝生长的结构 [P].

尚正国 ;

陈宇昕 .

中国专利 :CN110931629A ,2020-03-27

[10]

氮化铝导体材料及氮化铝全陶瓷加热结构器件 [P].

孙伟 ;

李丽霞 .

中国专利 :CN112573926A ,2021-03-30

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