一种钪掺杂氮化铝薄膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710261528.8

申请日：

2017-04-20

公开(公告)号：

CN107012439A

公开(公告)日：

2017-08-04

发明(设计)人：

杨成韬胡现伟牛东伟唐佳琳泰智薇

申请人：

申请人地址：

611731 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1406 C23C1402

代理机构：

成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232

代理人：

葛启函

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-27	授权	授权
2017-08-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101744591766 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2017102615288 申请日:20170420
2017-08-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种钪掺氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

赵祥永 ;

孙前 ;

刘肖男 ;

杨继业 ;

朱健秋 ;

张巧珍 .

中国专利 :CN120006230A ,2025-05-16

[2]

一种掺钪氮化铝薄膜的制备方法及掺钪氮化铝薄膜 [P].

郭凯 ;

赵腾达 ;

宋双艳 ;

陶庆爽 ;

李宏广 ;

翟思甜 .

中国专利 :CN120857847A ,2025-10-28

[3]

一种低温掺杂发光氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

邱万奇 ;

刘仲武 ;

孙歌 ;

余红雅 ;

钟喜春 ;

曾德长 ;

蔡明 .

中国专利 :CN101948999A ,2011-01-19

[4]

一种氮化铝掺杂钪铁电薄膜忆阻器及其制备方法 [P].

贾刚 ;

白建婷 ;

薛喆 ;

闫小兵 .

中国专利 :CN120201922A ,2025-06-24

[5]

一种氮化铝压电薄膜及其制备方法 [P].

刘兴钊 ;

李川 ;

张万里 ;

彭斌 ;

舒琳 .

中国专利 :CN104805405B ,2015-07-29

[6]

一种掺杂的氮化铝钪靶材及其制备方法和应用 [P].

邱从章 .

中国专利 :CN112962071A ,2021-06-15

[7]

氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

戴文武 ;

黄勇 .

中国专利 :CN119162548A ,2024-12-20

[8]

氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

戴文武 ;

黄勇 .

中国专利 :CN119162548B ,2025-04-25

[9]

一种近零应力掺钪氮化铝薄膜制备方法 [P].

王雷 ;

李昊 ;

姜理利 ;

贾世星 ;

郁元卫 ;

黄旼 ;

朱健 .

中国专利 :CN113755804A ,2021-12-07

[10]

一种氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

周柳江 ;

李晨 ;

张永起 ;

夏新辉 .

中国专利 :CN117568748A ,2024-02-20

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