一种近零应力掺钪氮化铝薄膜制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110930803.7

申请日：

2021-08-13

公开(公告)号：

CN113755804A

公开(公告)日：

2021-12-07

发明(设计)人：

王雷李昊姜理利贾世星郁元卫黄旼朱健

申请人：

申请人地址：

210016 江苏省南京市秦淮区中山东路524号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1406

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

曹芸

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20210813
2021-12-07	公开	公开

共 50 条

[1]

一种掺钪氮化铝薄膜的制备方法及掺钪氮化铝薄膜 [P].

郭凯 ;

赵腾达 ;

宋双艳 ;

陶庆爽 ;

李宏广 ;

翟思甜 .

中国专利 :CN120857847A ,2025-10-28

[2]

一种钪掺氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

赵祥永 ;

孙前 ;

刘肖男 ;

杨继业 ;

朱健秋 ;

张巧珍 .

中国专利 :CN120006230A ,2025-05-16

[3]

一种高质量掺钪氮化铝薄膜模板的制备方法 [P].

吴亮 ;

王琦琨 ;

付丹扬 ;

龚建超 ;

刘欢 .

中国专利 :CN113174574A ,2021-07-27

[4]

一种钪掺杂氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

杨成韬 ;

胡现伟 ;

牛东伟 ;

唐佳琳 ;

泰智薇 .

中国专利 :CN107012439A ,2017-08-04

[5]

一种掺钪氮化铝蚀刻液及其应用 [P].

冯帆 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

姜飞 ;

张庭 ;

班昌胜 ;

冯凯 ;

王书萍 ;

杜程 .

中国专利 :CN115044376A ,2022-09-13

[6]

掺钪氮化铝薄膜以及柔性声表面波谐振器的制备方法 [P].

羊建坤 ;

魏同波 ;

陈仁锋 ;

冉军学 ;

霍自强 ;

王军喜 .

中国专利 :CN120485947A ,2025-08-15

[7]

一种掺钪氮化铝脊波导声光调制器及其制备方法 [P].

郑少南 ;

李振宇 ;

边可伟 ;

胡挺 ;

钟其泽 ;

董渊 ;

邱阳 ;

赵兴岩 .

中国专利 :CN118192107A ,2024-06-14

[8]

一种基于掺铕氮化铝的光致发光薄膜的制备方法 [P].

张勇 ;

刘文 .

中国专利 :CN106191795A ,2016-12-07

[9]

掺钪氮化铝兰姆波谐振器的制备方法 [P].

赵继聪 ;

吕世涛 ;

张凯虹 ;

叶文淏 ;

孙海燕 ;

孙泽鑫 .

中国专利 :CN119727639A ,2025-03-28

[10]

一种用于高掺钪浓度氮化铝生长的结构 [P].

尚正国 ;

陈宇昕 .

中国专利 :CN110931629A ,2020-03-27

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